YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第177页
A-4 A 1. 3 . 2 NEX T INTERF AC E 아래의 1 ~ 3 의 조건 이 갖추어진 경우에 , 기판반 출을 시작합니다 . 1 . 본체가 기판반 출 가 능한 상태 （ LA NE 1 BA O UT [ T01 0 0 031 ]: O N / L ANE 2 BA O UT [ T01 00 033] : NO） 2. 하류기로부터 기판반입 신 호를 입력한 상 태 （LAN E 1 B USY IN…
A-3
A
1.3 기기간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은, 장비 본체 배면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는
로더 등의 상류기( 전장비 ) 와 접속합니다.
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .(ADVANCED GATE 선택시 )
1. 본체가 기판반입 가능한 상태 （LANE1 BUSY OUT [T0100035]:ON） /LANE2 BUSY OUT [T0100040]:ON)
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태 （LANE1 BA IN [N0100416]:ON） /LANE2 BA IN [N0100420]:ON)
3. 상류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태 （LANE1 UR IN [N0100417]:ON） /LANE2 UR IN [N0100421]:ON)
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시 정지합니다.
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다.
ㆍ LANE2 의 어드레스는, 듀얼레인 사양의 장비에서 사용합니다.
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BUSY OUT
(LANE 1:T0100035)
(LANE 2:T0100040)
+24V
+24V
LR OUT
(LANE 1:T0100034)
(LANE 2:T0100037)
UR IN
(LANE 1:N0100417)
(LANE 2:N0100421)
BA IN
(LANE 1:N0100416)
(LANE 2:N0100420)
반입중 입력
반출요구 출력
자동 운전중 출력
자동 운전중 입력
LE OUT
(LANE 1:T0100036)
(LANE 2:T0100041)
장비간 기판 대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N2-00
■
기판반송 신호사양
(
PREVIOUS INTERFACE)
Pin No. 신호명
어드레스
입출력 사양 신호사양
LANE1 LANE2
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1 BUSY OUT T0100035 T0100040 릴레이 접점출력
기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT T0100035 T0100040 릴레이 접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출 요구 신호입력
4 BA IN N0100416 T0100420 전압 입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동 운전중 신호입력
10 UR IN N0100417 T0100421 전압 입력
11 LR OUT T0100034 T0100037 릴레이 접점출력
자동 운전중 신호출력
12 LR OUT T0100034 T0100037 릴레이 접점출력
13 LE OUT T0100036 T0100041 릴레이 접점출력
장비간 기판 대기중 신호출력
14 LE OUT T0100036 T0100041 릴레이 접점출력
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1
듀얼 레인 사양의 장비에서 사용
A-4
A
1.3.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .
1. 본체가 기판반출 가능한 상태 （LANE1 BA OUT [T0100031]:ON/LANE2 BA OUT [T0100033]:NO）
2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태 （LANE1 BUSY IN [N0100410]:ON/LANE2 BUSY IN [N0100413]:ON）
3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태 （LANE1 LR IN [N0100411]:ON/LANE2 LR IN [N0100414]:ON)
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다.
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다.
ㆍ LANE2 의 어드레스는, 듀얼레인 사양의 장비에서 사용합니다.
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NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
BUSY IN
(LANE 1:N0100410)
(LANE 2:N0100413)
+24V
+24V
UR OUT
(LANE 1:T0100030)
(LANE 2:T0100032)
LR IN
(LANE 1:N0100411)
(LANE 2:N0100414)
+24V
LE IN
(LANE 1:N0100412)
(LANE 2:N0100415)
BA OUT
(LANE 1:T0100031)
(LANE 2:T0100033)
반입중 출력
반출요구 입력
자동 운전중 입력
자동 운전중 출력
장비간 기판 대기중 출력
I/O BOARD
GND GND
57A05-N2-00
■
기판반송 신호사양 (
NEXT INTERFACE)
Pin No. 신호명
어드레스
입출력 사양 신호사양
LANE1 LANE2
⁎
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1 +24V 입력공통 (+24V)
기판 반입중 신호입력
2 BUSY IN N0100410 N0100413 전압 입력
3 BA OUT T0100031 N0100033 릴레이 접점출력
기판반출 요구 신호출력
4 BA OUT T0100031 N0100033 릴레이 접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T0100030 N0100032 릴레이 접점출력
자동 운전중 신호출력
10 UR OUT T0100030 N0100032 릴레이 접점출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동 운전중 신호입력
12 LR IN N0100411 N0100414 전압 입력
13 +24V 입력공통 (+24V)
장비간 기판 대기중 신호입력
14 LE IN N0100412 N0100415 전압 입력
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듀얼 레인 사양의 장비에서 사용
점검 체크시트
시리얼 No ：
일상적인 점검 ~1 개월 까지의 점검항목 (OP 제외 ) 이 기재되어 있습니다 .
이 페이지를 복사해서 활용해 주십시오 .
점검에 관한 상세한 내용 및 , 2 개월 이상의 주기 점검에 관해서는 본서에
자세하게 설명되어 있습니다 .
섹션 항목 대상 점검／작업내용
매주 ( 월／일 ) 매월 수리
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교환
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헤드부 HM/FM
노즐
선단부
노즐의 선단부를 육안으로 확인합니다 . 노즐선단 클리닝 테이프 ( 동봉품 ) 등을 사용
해서 부품 흡착면 ( 선단부 ) 의 더러움을 제거합니다 .
노즐 스프링부
노즐 선단을 손가락으로 눌러서 탄성동작을 확인합니다 . 동작이 원활하지 않을 경우
에는 , 분해하고 세정한 후 급유합니다 .
에어경로
노즐 개방시의 진공레벨이 NG 일 경우 , 또는 한 달을 기준으로 에어 블로우 툴 및
노즐 청소용 와이어 등을 사용해서 노즐의 에어경로를 청소합니다 .
판스프링 ( 롤러 로크 ) 노즐 장착상태
손으로 노즐을 탈장착해서 , 판스프링 ( 롤러 로크 ) 에 충분한 유지력이 있는지 확인
합니다 . 변경이나 마모의 유무를 확인하고 , 상태가 양호하지 않으면 교환합니다 .
X-Y 축
X축
볼스크류
닦기용 와이퍼 등으로 볼스크류를 청소하고 , 구리스건으로 지정 구리스 (NSL) 를 급
유합니다 . 볼스크류를 동작시켜서 구리스가 스며들도록 합니다 .
가이드
닦기용 와이퍼 등으로 가이드를 청소하고 , 구리스건으로 지정 구리스 (NSL) 를 급유
합니다 . 가이드를 동작시켜서 구리스가 스며들도록 합니다 .
Y축
가이드
닦기용 와이퍼 등으로 가이드를 청소하고 , 구리스건으로 지정 구리스 (NSL) 를 급유
합니다 . 가이드를 동작시켜서 구리스가 스며들도록 합니다 .
리니어 스케일
리니어 스케일부가 구리스 등으로 더러워져 있지 않은지 확인하고 , 더러워져 있을
경우에는 , 본서의 「제 3 장 2.2.1」 를 참조해서 청소해 주십시오 .
컨베이어
기판센서 센서상태
센서부에 먼지나 더러움 등이 있으면 청소합니다 .
컨베이어 폭을 변경해도 에러없이 센서가 정확하게 동작하는지 확인합니다 .
인식장치
멀티 카메라 보호 글래스
멀티 카메라의 조명 보호 글래스상에 먼지가 있으면 청소합니다 . 더러움이 심할 경
우는 , 닦기용 와이퍼에 렌즈용 클리너를 조금 적셔서 청소합니다 .
테이프 커터
칼날
컷트 상태
이음
테이프 컷트시에 이음의 발생여부를 확인합니다 .
빈 테이프 박스내의 캐리어 테이프가 올바르게 컷트되어 있는지 확인합니다 .
※이상이 발생했을 때에는 , 대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 .
피더뱅크
（고정뱅크 사양의 경우）
피더 플레이트 플레이트
피더 플레이트상을 육안으로 점검합니다 . 먼지나 이물질 등이 있을 경우에는 , 가정
용 청소기 ( 또는 , 버큠 ASSY) 등으로 청소합니다 .
일괄교환대차
피더 플레이트
※1
플레이트
클램프 유닛
피더 플레이트 및 클램프 유닛 주변을 육안으로 점검합니다 . 먼지 등이 있을 경우는 ,
가정용 청소기 ( 또는 , 버큠 ASSY) 등으로 청소합니다 .
위치 결정부
※1
위치 결정핀
일괄교환 대차쪽과 장비쪽의 위치 결정부 ( 핀 ) 의 오래된 구리스를 닦아내고 , 면봉
등으로 지정 구리스 (NSL) 를 도포합니다 .
이오나이저
（본체 옵션）
방전침 선단부 청소
메인 에어공급을 차단시키고 , 방전침의 선단부를 에탄올을 적신 면봉으로 청소한
후 , 잠시동안 건조시킵니다 . 청소를 해도 에러가 개선되지 않을 경우에는 방전침을
교환합니다 .
※1
일괄교환 대차의 유지보수의 상세 및 트레이체인저의 유지보수에 관해서는 , 별책 「Z:LEX 옵션 매뉴얼」 을 참조해 주십시오 .