YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第52页

2-4 2 1 . 1 . 1 노즐 해방시의 진공레벨 하 기 의 표 에 서 나 타 내 는 수 치 는 , 진 공 압 을 이 용 한 수 치 입 니 다 . 에 어 원 과 환 경 에 따 라 서 수 치 가 다소 달 라 지 므로 , 유 지 보 수 시 의 참 고 값 으로 서 사 용 하 여 주십 시 오 . ■ 개방상 태 규격치 일 람 헤드 타입 노즐 개방상태 규 격치 비고 HM 헤드 Ty p e 3 0 1 …

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2
노즐막힘확인방 ([ 장치 ] -「헤드」탭 화면을 한다 )
기에「노즐막힘」이노즐구멍솔더 등이 어서 , 부품이 음에도 불구하압이 상승해 버리상태
말합니 . 결과 , 미실등의 가능성이 있습 . 노즐막힘의 확아래의 순서주십시
. 다음과 같이 Type302A 노즐을 들어서 막힘확인하는 해서 합니 .
n
요점
즐 막의 판정 기준이 되즐 해의 진공레 , 노의 타에 따라 다릅. Type302A 이의 노은 후
「1.1.1 즐 해의 진공레벨」을 참해 주십 .
1
노즐합니다 .
e
1. 비상정튼을 누르고 , 장안전커
합니 . 드에 Type302A 즐을
장착해 .
스테이션장비[ 즐변 ]
튼을 눌러서 모든 헤드Type302A 즐을
착합니다 .
2. 블을 전환해 , AB 닛에
즐을 장착주십시 .
2
수치를 세트합니 .
[ 장치 ]-「헤드화면을 열고 , 우측 하단
[ 리세 ] 튼을 눌러서 , 공레벨의 수치
리세주십시 . 테이환해서
테이블 실시합니다 .
3
부압을 발생시킵니다 .
[ 장치 ]-「헤드」화에서 , 드의 [ ]
튼을 ON , 치가 상승하5~10 후에
OFF 주십시 . 이블을 환해서
이블 실시합니다 .
4
수치를 인합니다 .
드의 표시된「최대값」의
수치테이환해서 확인해 주십시 .
확인한 수치60~110 이면 정상범위
. 만약 , 110 우는 , 노즐 구멍이
워져 있을 가으므로 3 「1.2 노즐
소」「1.2.2 에어로의 청소참조
즐을 청소주십시 .
n
요점
즐을 청한 후에 상기 Step1~4 를 실도 정가 되지 않을 경우는 , 스인 샤프트안이 더져 있을 가능이 있
. 제 3 「5.1 스라인 샤프트의 청를 참서 샤프의 내부를 청해 주십 .
부압확인
Step 4
58203-N2-00
부압발생
Step 1~3
[노즐변경] 버튼
테이블 선택
[리세트] 버튼 [진공]버튼
58202-N2-00
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2
1.1.1 노즐 해방시의 진공레벨
, .
다소 므로 , 으로주십 .
개방상규격치
헤드 타입 노즐 개방상태 격치 비고
HM 헤드
Typ e301A 150 ~190
표준 노즐
Typ e302A 60 ~110
Type311A 150~19 0
협인접 노즐Typ e312A 130~180
Typ e313A 40~80
Typ e303A/Type314A
*
40~80
표준
협인접 공통노즐Typ e304A/Type315A
*
30~60
Typ e307A/Type318A
*
30~60
노즐 없음 30~60
FM 헤드
Typ e301A 150 ~190
표준 노즐
Typ e302A 60 ~110
Type311A 150~19 0
협인접 노즐Typ e312A 130~180
Typ e313A 40~80
Typ e303A/Type314A
*
40~80
표준
협인접 공통노즐Typ e304A/Type315A
*
10~40
Typ e307A/Type318A
*
10~40
노즐 없음 10~40
n
요점
시 노즐은 다른 노즐에 비해 노즐 홀이 크기 때문에, ⁎시 노즐이 상의 규를 넘 , 헤의 에어 경
( 스플라인 샤프트 등 ) 가 더져 있을 가능이 높습 .
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2
1.2 육안으확인
으로 확인하는 , 드로즐을 확인하는 즐을
하는 2 .
노즐을 확인할 포인트
즐을 보기 등으로 확대해확인합니 .
즐의 단부 , 노즐 홀움이솔더의 부착이 있을 우는 , 즐의 청소를 주십시 .
노즐 선단부
노즐 구멍에 솔더가
부착되어 있다
노즐 선단(평면)에
솔더가 부착되어 있다
노즐 구멍
노즐상태의 확인 포인트
정상인 상태
NG 개구부가 막혀 있는 상태 NG 선단이 빛나고 있는 상태
57200-N2-00
c
주의
상기의 확인을 한 상태에서 NG 라고 판단된 경우는 , 노즐의 개구부 및 선단를 청소해 주십시 .
청소방법에 관해서는 제 3 1.2 노즐의 청소 를 참조해 주십시오 .
헤드로부노즐인하
1. 노즐을 빼기 치에 헤드시켜 , 으로 노즐을 빼 주십 .
2. 즐청소가 료되면 , 즐의 방향주의해서 원위합니 .
n
요점
더 간한 방 , 헤에 장어 있는 노즐을 거울 등으로 확할 수 있.
노즐 스테이션에서 노즐을 빼서 인하
1. 노즐을 노즐 스테이션납합니 .
2. 「장치」화면의 [ STN 셔터 ] 버튼눌러서 , 노즐을 탈착 능한 상합니다 .
3. 즐청소가 료되면 , 치에 되돌린 후[ 노즐 STN ] 누릅니 .