YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第34页

1-2 1 1 .2 정기 적 인 점 검 • 청소 의 중요 성 장 비 의 유 지 보 수를 실 행 하 면 서 , 정 기 적 인 점 검 및 청 소를 하는 것 은 상 당 히 중 요 한 요소 입 니 다 . 점 검 과 청 소 등 의 작 업 을 태 만 히 하 면 장 비 의 성 능 이 발 휘 되 지 않 으 며 , 실 장 의 트 러 블 과 경 우에 따 라 서 는 장 비 의 고 장 으로 이 어 질 가능 성 이…

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1. 장비의
하신 장비의 능을 하기 , 보다 나건에 1 됩니 .
욱이 소의 기적않는 중요합니 .
1.1 필수조경조
사용에어
항목 내용
에어압
급에어 압력 :0.45Mpa 이상
설정에어 압력 :0.40Mpa(0.39Mpa~0.41Mpa)
에어 소비량
HM 헤드 (1 ) :140L/min(ANR) ( 평균 ), 290L/min(ANR) ( 최대 )
HM 헤드 (2 ) :240L/min(ANR) ( 평균 ), 380L/min(ANR) ( 최대 )
FM 헤드 (1 ) : 80L/min(ANR) ( ), 110L/min(ANR) ( 최대 )
FM 헤드 (2 ) :170L/min(ANR) ( ), 310L/min(ANR) ( 최대 )
용조건
내경 8mm 이상의 에어호스를 용할 .
에어 드라이어 에어필터를 통과한 청정한 에어를 용할 .
사용전원
항목 YSM20 YSM20W
전원
삼상교류
200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%)
주파수 50Hz/60Hz
전원용량 13.9kVA
평균소비 전력 1.79kW 2.16kW
전원접속 전원 케이블 체 단면적 10 ㎟이상
환경조
항목 내용
노이 EN61000-6-2 규격에 적합 .
습도 20~80%( 현상이 없을 ) 최적범위 :50~60%
온도 보증은 15~35℃ 이내 , 정밀도 보증20~28℃ 이내
과도 전압구분 category III
오염 정 degree2
고도 해발 1000m 이하
주위 대기 상태 먼지 등없을 . 현저한 이즈 발생이 없을 .
설치 바닥 상태 평탄하며 전시 진동이 없도록 충분한 강도있을 . 특히 , 목제 바닥면은 불가 .
필요 평면도 일괄 교환대차전후 통으로 용할 경우 , 설치 직하도 해서 10mm 이내의 평면도가 필요 .
바닥면 내구 강도 850kg/ 이상 확보 .
n
요점
기 방지 대으로 산업용 가습를 사용하실 경우는,후술「1.3 적한 습도 관리의 중을 읽으시 ,하신 신 후
르게 사용길 바.
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1.2 정기
청소중요
수를 , 소를 하는 요소 .
, 우에 으로
가능.
예:
•
오염자체잘못 실장이 발생한다 .
어경로의 더러의해 흡 , 에러다발한다 .
피더 , 피더 플레트의 점검부족으로 흡착 에러다량 발생한다 .
광학장치 ( , 조명 ) 움에 의해 불량이 발생한다 .
축의 구리도포 부족으로 이상한 소리 ( 이음 ) 가 발생한다 .
등의 점검부족으로 기판정과 반송에 실패한다 .
같이, 량을
므로 , 하여 하실 .
n
요점
이 효으로 실, 권에 점항목을 정검 체크시가 마어 있.
에 활용해 주십 .
1.3 적절습도 관리중요
하는 주위 , 로가 로가
있습니다 .
, 다음 항목주십 .
장비를 동하기 전에 , 경의 온도습도를 확인한다 .
어컨가습기 제습등을 용해전술「1.1 수조및 환경조건」기재되어 있는 용에 맞는
확인한 후 , 장비의 ON .
습기를 적절하게 동시킨다 .
가습기물은 불순물이 수를 사용합니 .
분무우에는 , 충분히 높은 설치해서 , 면에 물방울부착되않도
정합니다 .
요에 따 , 조정합니 . 특히 습기많은 계절사용하면 , 도가 80% 초과할
으므로 , 따라 적절하게 조절해십시 .
참고
불순물이 적은 순수는 , 일으로 전용 정기 처를 거친 물을 말.
( ) 의 불순물 양 , 전기 전도도(S/cm)로 관리가능 합.
인 수100 ~ 400 μS/cm
불순물이 적은 물 1 ~ 2 μS/cm
(정의 성능은 제조사에 따라 다릅.
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주의
습기를 사용할 경우에는 , 수도물이나 우물물을 사하지 마십시오 .
수도물 , 우물에는 절연성을 저하시키는 나트륨과 염소 등의 원소가 비소량 포함되어 있으며 , 장비 내부의 회로고장을 유발시키는
원인이 됩니다 .
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2. 유지보준비
본장에서 부터 하는 용은 , 장비능을 유지위해 사용하는 중에 능이 서서어질
가능부품 ( 소모 ) 교환방법중심으로 쓰여 습니 . 나아가 , 사용자 레벨에서
간단히 교환 가능한 부품에 해서똑같합니 .
2.1
다음부품으로서 , .
2.1.1 HM 헤드 유닛
소모 ( 동봉품 )
소모품 (HM헤드)
동봉품
필터용 개스킷
이젝터용 필터
노즐 판스프링
고정나사
노즐 판스프링
노즐 유지력 강화용 판스프링
57100-N2-00
명칭 명칭 번호 비고
노즐 판스프링 LEAF SPRING KG7-M7137-A0X
노즐 유지력 강용 판스프링 PLATE, SPRING KGS-M714W-03X
이젝터용 필터 FILTER KLW-M8527-00X
이젝터용 개스킷 GASKET KLW-M715B-00X
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주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 품번호 ) 은 발행시의 것입니 .
품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 대리점에 확인해 주십시오 .