YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第134页

4-2 4 1 . 1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 ) 이 작업 은 , 매 월 또 는 이 오 나 이 저 본 체 의 LED 가 녹 색 으로 점 등 ( +PREC, -P REC ) 되 어 있 을 경 우 에 실 시 합 니다 . 1 이오나 이저 전원을 OFF 합니 다 . e 1 . 비상정 지 버 튼을 누르고 , 장 비 의 안전 커버 를 열 면 이 오나이저 의 전 원 이 차단 됩 니 다 . 2. …

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4
1.
나이저 , 기간의 사용으로 인해 방전 ( ) 화되능이 하되 , 방전
으로 교환요가 습니 . , 제전효과나 스를 해서 정기소도 시할 필요
습니 . 다음소와 교환 방법에 합니 .
c
주의
이오나이저의 방전침 선단은 뾰족하며 전압이 흐르고 있습니다 . 장비의 안전 커버를 열 , 이오나이저로의 전원공은 차단됩니다만 ,
장비내에서 유지보수 작업을 실시할 경우 , 이오나이저의 선단부에 직접 손이 닿지 않도록 주의해 주십시 .
이오나이저 본체의 LED
+ -
Trinc
ERR PREC
GOOD
PREC
ERR
이오나이저 한 개에 3군데의 표시부가 있다
이오나이저
LED 표시내용
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통상시 (GOOD):
밸런보정 (+PREC, -PREC): 녹색 점등
방전워져 상태입니다 . 방전침청소요가 습니 .
밸런스의 비정 (+ERR, -ERR):
방전아주 더러 , 노화되우려가 있습니 . 측에에러표시 .
n
요점
나이의 제전 성 , 제전 대이 되는 기판이나 부품의 제 , 형상에 따라 달라므로 , 완게 제을 보할 수는 없
니다 .
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1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 )
작업 , LED 으로 (
+PREC, -PREC
)
니다 .
1
이오나이저 전원을 OFF 합니 .
e
1. 비상정튼을 누르고 , 장안전 커버
오나이저차단 .
2. 저의「POWER LED 소등
있는주십시 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
에어 OFF 합니다 .
장비정좌측 단의 ,「에어 공급 /
출」밸브를 우으로 돌려서 에어 공급을 차단
니다 .
3
방전침청소합니다 .
1. 오나이저부속 브러 , 또는 으로
방전단부 센서 ( 금색 부분 )
러움을 제거주십시 .
2. 움이 심할 경우는 , 면봉에 무수 올을
조금 적셔서 방전침을 닦아 주십시 . 청소,
잠시 그대조시 .
n
요점
침 유을 탈착해서 방을 청하는 방도 있.
침 유의 탈 , 후술「1.2 나이저 방의 교
(2 )」을 참해 주십 .
c
주의
방전침 유닛을 탈착해서 청소할 경우 , 무수 에탄올 등에 담궈두
지 마십시오 . 내부에 무수 에탄올이 남아 있는 상태에서 고전압
을 가하면 , 이오나이저 본체가 파손될 우려가 있습니다 .
4
에어를 공급하고 전원을 투입합니다 .
1. 에어 공 / 밸브전환해서 장에어
공급합니 .
2. 장비의 안전 ,「READY」버튼
니다 .
3. 저의「GOOD」의 LED
등하 , 에러발생않음을 확인합니 .
방전침의 청소
부속 브러시
센서의 청소부분
방전침
Step 3
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4
1.2 이오나이저 방전침의 (2 )
전술의「1.1 ( ) , 스의 하는
LED(+ERR, -ERR) , 2 으로 나이(KHN-M83P1-
00X:Needle set/ 4 ) 요가 . 나이1 12 .
으로 나이1 , 1 24 .
1
장비의 전원을 OFF 합니 .
e
1. 비상정튼을 누르고 , 장안전커
픈하면 , 오나이저공급이
됩니다 .
2. 저의 LED 소등되음을
인합니다 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
에어 차단합니다 .
장비정좌측 단의 ,「에어 공급 /
출」밸브를 우으로 돌려서 에어 공급을 차단
니다 .
3
방전침분리합니다 .
우측 림과 같방전크를 가락으
집어주십시 .
4
방전침교환합니다 .
방전교환때는 , 방전유닛쪽의 부분
장착쪽흠부를 맞춰서 주십시 .
5
전성능인합니다 .
플레모니경우는 재전성능을
확인해 주십시 .
1. 「에공급 / 배출」밸좌측으로 돌려서
장비에 에어공급합니 .
2. 장비의 전원ON 합니다 .
3. 플레모니피더 흡착위부근에
놔두 , 제전 성능을 확인합니 .
n
요점
전 성의 규 , 피더 흡착의 감측정 시
(+1000V 의 대이 +100V 지 감하는 시 ):
15 초 이.
을 교환해도 제전 성이 복귀지 않, 또
나이서 에가 계속 발할 경 , 대
는 야로 연락해 주십 .
n
요점
나이의 상한 사양은 , 제조사의 취급 설를 참
해 주십 .
방전침의 분리
Step 3
후크
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