YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第175页

A-2 A 1 .2 전 원 접속 부 본 체 정 면 하 단 우측 패 널 을 열 면 전 원 접 속부 가 있 습 니 다 . 다 음 과 같 은 전 원 케 이 블을 사용 하여 , 전 원 접 속 단 자판 에 L 1 , L 2 , L 3 과 접 지 (P E ) 합 니 다 . ■ 전원사양 장비명 칭 전원 주파 수 전원용량 Z: L EX(YSM2 0 /YS M20 W 삼상 교 류 2 0 0/2 0 8/2 2…

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A-1
A
1.
1.1 에어조정부
좌측 , 동부급하.
으로 주십 .
에어압 조정부
에어 공급/배출 밸브
압력 표시계
원 에어 접속부
에어 압력 레귤레이터
에어 공급/배출 밸브
압력 표시계 (B테이블)
압력 표시계 (A테이블)
원 에어 접속부
에어 압력 레귤레이터
(A테이블)
에어 압력 레귤레이터
(B테이블)
󳋴 1빔의 경우 󳋴 2빔의 경우
57A01-N2-00
공급에어 압력
공급에어 압력이 , 귤레이터에어압을 설정하기 본체공급되말합니 .
기의 적정 범위공급하여 주십시 .
Z:LEX(YSM20/YSM20W) 0.45MPa~0.70MPa
압력 시계
통상은 녹색으로 표시되며 , 압력이 상한또는 하한 ( 다운 검출 ) 달한 우는 에러나서 빨간으로
니다 .
설정 압력과 어다검출 압력
본체 설정압력 :0.40Mpa( ± 0.01)
(0.45Mpa 하면 압력 시계가 빨갛게 표시됩니 .)
에어검출압력 :0.33Mpa
에어공 /
우측으로 돌리면 , 에어공급을 차단합니다 . 또한 , 경로내에 남아있에어출합니 .
원에어 커넥터
40SH( 日東工器 ) 소켓장착한 내경 8mm 상의 에어호스를 준비접속해 주 . 드라이어 어필
통한 청정 용해 주십시 .
A-2
A
1.2 접속
우측속부. 블을 사용하여,
자판L1, L2, L3 (PE) .
전원사양
장비명 전원 주파 전원용량
Z:LEX(YSM20/YSM20W 삼상200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%) 50/60Hz 13.9kVA
전원 입력 단자 (L1, L2, L3), 접지단자 (PE)
메인 브레이커
전원 입력 단자
57A02-N2-00
원형 압착단자
절연 피복부 압착단자
L=100
전원 케이블 가공예
L2
L1
L3
PE
57A03-N2-00
c
주의
전원 케이블에는 , 도체 단면적이 10 ㎟ 이상의 것을 사용하여 주십시 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속
실하게 해 주십시오 .
A-3
A
1.3 기기입출력 넥터
하류송수신, NEXT INTERFACE
PREVIOUS INTERFACE .
NEXT INTERFACE 하류( 후장 ) , PREVIOUS INTERFACE
( ) .
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 조건갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .(ADVANCED GATE 택시 )
1. 본체가 기판반능한 상태 (LANE1 BUSY OUT [T0100035]:ON /LANE2 BUSY OUT [T0100040]:ON)
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력상태 LANE1 BA IN [N0100416]:ON /LANE2 BA IN [N0100420]:ON)
3. 상류기로부터 자신호를 입력상태 LANE1 UR IN [N0100417]:ON) /LANE2 UR IN [N0100421]:ON)
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상의 자동중 신(UR IN)가 OFF 한 경, 기을 일시 정.
ㆍ 반중인 기판이 본의 입를 통과고 판단을 때 , BUSY OUT 을 OFF .
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시서 반을 종.
ㆍ LANE2 의 어스는, 듀인 사의 장비서 사용.
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3
BUSY OUT
(LANE 1:T0100035)
(LANE 2:T0100040)
+24V
+24V
LR OUT
(LANE 1:T0100034)
(LANE 2:T0100037)
UR IN
(LANE 1:N0100417)
(LANE 2:N0100421)
BA IN
(LANE 1:N0100416)
(LANE 2:N0100420)
반입중 입력
반출요구 출력
자동 운전중 출력
자동 운전중 입력
LE OUT
(LANE 1:T0100036)
(LANE 2:T0100041)
장비간 기판 대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀리셉터클)
57A04-N2-00
기판반송 신호사
(
PREVIOUS INTERFACE)
Pin No. 호명
어드레스
입출력 신호사
LANE1 LANE2
1
1 BUSY OUT T0100035 T0100040 릴레접점출력
기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT T0100035 T0100040 릴레접점출력
3 +24V 입력 (+24V)
기판반출 요구 신호입력
4 BA IN N0100416 T0100420 전압 입력
5 비었음 ( 더미있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력 (+24V)
운전신호입력
10 UR IN N0100417 T0100421 전압 입력
11 LR OUT T0100034 T0100037 릴레이 접점출
운전신호출력
12 LR OUT T0100034 T0100037 릴레이 접점출력
13 LE OUT T0100036 T0100041 릴레이 접점출력
장비간 기판 대기중 신호출력
14 LE OUT T0100036 T0100041 릴레이 접점출력
1
듀얼 레인 사양의 비에서 사