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1-3 1 2. 유 지보 수 작 업 의 준비 본장에서 지 금 부터 설 명 하는 작 업 내 용은 , 장비 의 성 능을 유지 하 기 위해 사 용하는 도 중에 기 능이 서서 히 떨 어질 가능 성 이 있 는 부품 ( 소모 품 ) 등 의 교환방법 을 중심 으로 쓰여 있 습니 다 . 나아가 , 고 장 시 에 는 사용자 레벨 에서 간단히 교환 가능한 부품에 대 해서 도 똑같 이 설 명 합니 다 . 2 .…

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1.2 정기
청소중요
수를 , 소를 하는 요소 .
, 우에 으로
가능.
예:
•
오염자체잘못 실장이 발생한다 .
어경로의 더러의해 흡 , 에러다발한다 .
피더 , 피더 플레트의 점검부족으로 흡착 에러다량 발생한다 .
광학장치 ( , 조명 ) 움에 의해 불량이 발생한다 .
축의 구리도포 부족으로 이상한 소리 ( 이음 ) 가 발생한다 .
등의 점검부족으로 기판정과 반송에 실패한다 .
같이, 량을
므로 , 하여 하실 .
n
요점
이 효으로 실, 권에 점항목을 정검 체크시가 마어 있.
에 활용해 주십 .
1.3 적절습도 관리중요
하는 주위 , 로가 로가
있습니다 .
, 다음 항목주십 .
장비를 동하기 전에 , 경의 온도습도를 확인한다 .
어컨가습기 제습등을 용해전술「1.1 수조및 환경조건」기재되어 있는 용에 맞는
확인한 후 , 장비의 ON .
습기를 적절하게 동시킨다 .
가습기물은 불순물이 수를 사용합니 .
분무우에는 , 충분히 높은 설치해서 , 면에 물방울부착되않도
정합니다 .
요에 따 , 조정합니 . 특히 습기많은 계절사용하면 , 도가 80% 초과할
으므로 , 따라 적절하게 조절해십시 .
참고
불순물이 적은 순수는 , 일으로 전용 정기 처를 거친 물을 말.
( ) 의 불순물 양 , 전기 전도도(S/cm)로 관리가능 합.
인 수100 ~ 400 μS/cm
불순물이 적은 물 1 ~ 2 μS/cm
(정의 성능은 제조사에 따라 다릅.
c
주의
습기를 사용할 경우에는 , 수도물이나 우물물을 사하지 마십시오 .
수도물 , 우물에는 절연성을 저하시키는 나트륨과 염소 등의 원소가 비소량 포함되어 있으며 , 장비 내부의 회로고장을 유발시키는
원인이 됩니다 .
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1
2. 유지보준비
본장에서 부터 하는 용은 , 장비능을 유지위해 사용하는 중에 능이 서서어질
가능부품 ( 소모 ) 교환방법중심으로 쓰여 습니 . 나아가 , 사용자 레벨에서
간단히 교환 가능한 부품에 해서똑같합니 .
2.1
다음부품으로서 , .
2.1.1 HM 헤드 유닛
소모 ( 동봉품 )
소모품 (HM헤드)
동봉품
필터용 개스킷
이젝터용 필터
노즐 판스프링
고정나사
노즐 판스프링
노즐 유지력 강화용 판스프링
57100-N2-00
명칭 명칭 번호 비고
노즐 판스프링 LEAF SPRING KG7-M7137-A0X
노즐 유지력 강용 판스프링 PLATE, SPRING KGS-M714W-03X
이젝터용 필터 FILTER KLW-M8527-00X
이젝터용 개스킷 GASKET KLW-M715B-00X
c
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 품번호 ) 은 발행시의 것입니 .
품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 대리점에 확인해 주십시오 .
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2.1.2 FM 헤드 유닛
소모 ( 동봉품 )
소모품 (FM헤드)
동봉품
이젝터용 필터
필터용 개스킷
노즐 판스프링
고정볼트
노즐 판스프링
노즐유지 롤러노즐 Arm ASSY
57101-N2- 0 0
명칭 명칭 번호 비고
노즐 판스프링 PLATE, SPRING KV7-M8171-00X
노즐 유지 롤 ROLLER KV7-M81D4-00X
노즐 Arm ASSY ROLLER LOCK ASSY. KLW-M74D0-00X
이젝터용 필터 FILTER KLW-M8527-00X
이젝터용 개스킷 GASKET KLW-M715B-00X
c
주의
본 매뉴얼에 기재되어 있는 부품 ( 품번호 ) 은 발행시의 것입니 .
품번호는 예고없이 변경될 경우가 있으 , 발주시에는 반드시 최신 내용인지 대리점에 확인해 주십시오 .