YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第173页

부록 목차 1 . 사양 A - 1 1 . 1 에어압 조 정부 A - 1 1 . 2 전원 접속 부 A -2 1 .3 기기간 입출력 커 넥터 A -3 1 .3. 1 PRE VIO US INTER F ACE A- 3 1 .3.2 NE X T INT ERF ACE A - 4

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기판 클램드를 장착합니다 .
1. 기판 클램프 보드위치 , 육
(3) 기판 클램프 보드의 트를
체결주십시 .
2. 깔아합니 .
0
트의 장착 상태를 확인합니다 .
1. 기판클램치가 벨트 상면
0.5mm 낮은 치에 있는확인주십시 .
클램동작문제확인합니 .
2. 장비의 안전커버다고 , 비상정해제
. 대차 사양의 우는 대차를 장착합니.
3. [ 장치 ]-이어」탭 화면의 화살표 버튼
으로 트를 회전시켜서 동작상확인하여
십시오 .
4. 이어 벨트의 회전르지 하거
우는 , 텐셔 ( 풀리 브래킷 )
다시 조정주십시 .
c
주의
벨트의 상면과 기판 클램프 상면의 높이에 거의 차이가 없 ,
기판 반송에러가 발생할 가성이 있습니다 .
럴 경우에는 , 야마하 또는 대리점으로 연락해 주십시 .
기판 클램프 보드의 장착
Step 9
기판 클램프 보드
기판 클램프 보드 고정볼트
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벨트의 장착상태와 동작확인
Step 10
컨베이어 구동버튼
<컨베이어 동작확인>
저속 좌 저속 우
<벨트의 장착상태 확인>
기판 클램프 보드
0.5 mm
벨트
58603-N2-00
부록
목차
1. 사양 A-1
1.1 에어압 정부 A-1
1.2 전원 접속 A-2
1.3 기기간 입출력 넥터 A-3
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE A-3
1.3.2 NEXT INTERFACE A-4
A-1
A
1.
1.1 에어조정부
좌측 , 동부급하.
으로 주십 .
에어압 조정부
에어 공급/배출 밸브
압력 표시계
원 에어 접속부
에어 압력 레귤레이터
에어 공급/배출 밸브
압력 표시계 (B테이블)
압력 표시계 (A테이블)
원 에어 접속부
에어 압력 레귤레이터
(A테이블)
에어 압력 레귤레이터
(B테이블)
󳋴 1빔의 경우 󳋴 2빔의 경우
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공급에어 압력
공급에어 압력이 , 귤레이터에어압을 설정하기 본체공급되말합니 .
기의 적정 범위공급하여 주십시 .
Z:LEX(YSM20/YSM20W) 0.45MPa~0.70MPa
압력 시계
통상은 녹색으로 표시되며 , 압력이 상한또는 하한 ( 다운 검출 ) 달한 우는 에러나서 빨간으로
니다 .
설정 압력과 어다검출 압력
본체 설정압력 :0.40Mpa( ± 0.01)
(0.45Mpa 하면 압력 시계가 빨갛게 표시됩니 .)
에어검출압력 :0.33Mpa
에어공 /
우측으로 돌리면 , 에어공급을 차단합니다 . 또한 , 경로내에 남아있에어출합니 .
원에어 커넥터
40SH( 日東工器 ) 소켓장착한 내경 8mm 상의 에어호스를 준비접속해 주 . 드라이어 어필
통한 청정 용해 주십시 .