YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第176页
A-3 A 1 .3 기기 간 입출력 커 넥터 하류 기 및 상 류 기 와 의 기 판 요 구 나 운 전 상 태 등 의 신 호 송수신 은 , 장 비 본 체 배 면 의 NEXT I NTERF A CE 와 PREVIO US I NTERF AC E 커 넥 터 로 실 행 합 니 다 . NEXT INTE RF ACE 커 넥 터 는 하류 기 ( 후장 비 ) 와 접 속 하 고 , PREVIO US INT ER…
A-2
A
1.2 전원 접속부
본체 정면 하단 우측패널을 열면 전원접속부가 있습니다. 다음과 같은 전원케이블을 사용하여, 전원 접속
단자판에 L1, L2, L3 과 접지(PE) 합니다.
■ 전원사양
장비명칭 전원 주파수 전원용량
Z:LEX(YSM20/YSM20W 삼상교류 200/208/220/240/380/400/416V( ± 10%) 50/60Hz 13.9kVA
전원 입력 단자 (L1, L2, L3), 접지단자 (PE）
메인 브레이커
전원 입력 단자
57A02-N2-00
원형 압착단자
절연 피복부 압착단자
L=100
전원 케이블 가공예
L2
L1
L3
PE
57A03-N2-00
c
주의
전원 케이블에는 , 도체 단면적이 10 ㎟ 이상의 것을 사용하여 주십시오 .
w
경고
감전사고를 방지하기 위해 , 전원의 접속은 차단기를 내렸는지 확인하고 나서 실행하여 주십시오 . 또한 , 본체 어스부의 접속은
확실하게 해 주십시오 .
A-3
A
1.3 기기간 입출력 커넥터
하류기 및 상류기와의 기판요구나 운전상태 등의 신호 송수신은, 장비 본체 배면의 NEXT INTERFACE
와 PREVIOUS INTERFACE 커넥터로 실행합니다.
NEXT INTERFACE 커넥터는 하류기( 후장비 ) 와 접속하고 , PREVIOUS INTERFACE 커넥터는
로더 등의 상류기( 전장비 ) 와 접속합니다.
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반입을 시작합니다 .(ADVANCED GATE 선택시 )
1. 본체가 기판반입 가능한 상태 （LANE1 BUSY OUT [T0100035]:ON） /LANE2 BUSY OUT [T0100040]:ON)
2. 상류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태 （LANE1 BA IN [N0100416]:ON） /LANE2 BA IN [N0100420]:ON)
3. 상류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태 （LANE1 UR IN [N0100417]:ON） /LANE2 UR IN [N0100421]:ON)
n
요점
ㆍ 기판 반입중에 상류기의 자동운전중 신호（UR IN）가 OFF 한 경우, 기판반입을 일시 정지합니다.
ㆍ 반입중인 기판이 본체의 입구센서를 통과했다고 판단되었을 때는 , BUSY OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY OUT 과 BA IN 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반입을 종료합니다.
ㆍ LANE2 의 어드레스는, 듀얼레인 사양의 장비에서 사용합니다.
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3
BUSY OUT
(LANE 1:T0100035)
(LANE 2:T0100040)
+24V
+24V
LR OUT
(LANE 1:T0100034)
(LANE 2:T0100037)
UR IN
(LANE 1:N0100417)
(LANE 2:N0100421)
BA IN
(LANE 1:N0100416)
(LANE 2:N0100420)
반입중 입력
반출요구 출력
자동 운전중 출력
자동 운전중 입력
LE OUT
(LANE 1:T0100036)
(LANE 2:T0100041)
장비간 기판 대기중 입력
I/O BOARD
PREVIOUS INTERFACE 회로
본체측 PREVIOUS INTERFACE상류기
PREVIOUS INTERFACE
커넥터
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
57A04-N2-00
■
기판반송 신호사양
(
PREVIOUS INTERFACE)
Pin No. 신호명
어드레스
입출력 사양 신호사양
LANE1 LANE2
⁎
1
1 BUSY OUT T0100035 T0100040 릴레이 접점출력
기판 반입중 신호출력
2 BUSY OUT T0100035 T0100040 릴레이 접점출력
3 +24V 입력공통 (+24V)
기판반출 요구 신호입력
4 BA IN N0100416 T0100420 전압 입력
5 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
6~8 비었음
9 +24V 입력공통 (+24V)
자동 운전중 신호입력
10 UR IN N0100417 T0100421 전압 입력
11 LR OUT T0100034 T0100037 릴레이 접점출력
자동 운전중 신호출력
12 LR OUT T0100034 T0100037 릴레이 접점출력
13 LE OUT T0100036 T0100041 릴레이 접점출력
장비간 기판 대기중 신호출력
14 LE OUT T0100036 T0100041 릴레이 접점출력
⁎
1
듀얼 레인 사양의 장비에서 사용
A-4
A
1.3.2 NEXT INTERFACE
아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .
1. 본체가 기판반출 가능한 상태 （LANE1 BA OUT [T0100031]:ON/LANE2 BA OUT [T0100033]:NO）
2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태 （LANE1 BUSY IN [N0100410]:ON/LANE2 BUSY IN [N0100413]:ON）
3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태 （LANE1 LR IN [N0100411]:ON/LANE2 LR IN [N0100414]:ON)
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다.
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다.
ㆍ LANE2 의 어드레스는, 듀얼레인 사양의 장비에서 사용합니다.
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NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
BUSY IN
(LANE 1:N0100410)
(LANE 2:N0100413)
+24V
+24V
UR OUT
(LANE 1:T0100030)
(LANE 2:T0100032)
LR IN
(LANE 1:N0100411)
(LANE 2:N0100414)
+24V
LE IN
(LANE 1:N0100412)
(LANE 2:N0100415)
BA OUT
(LANE 1:T0100031)
(LANE 2:T0100033)
반입중 출력
반출요구 입력
자동 운전중 입력
자동 운전중 출력
장비간 기판 대기중 출력
I/O BOARD
GND GND
57A05-N2-00
■
기판반송 신호사양 (
NEXT INTERFACE)
Pin No. 신호명
어드레스
입출력 사양 신호사양
LANE1 LANE2
⁎
1
1 +24V 입력공통 (+24V)
기판 반입중 신호입력
2 BUSY IN N0100410 N0100413 전압 입력
3 BA OUT T0100031 N0100033 릴레이 접점출력
기판반출 요구 신호출력
4 BA OUT T0100031 N0100033 릴레이 접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )
7 GND
8 비었음
9 UR OUT T0100030 N0100032 릴레이 접점출력
자동 운전중 신호출력
10 UR OUT T0100030 N0100032 릴레이 접점출력
11 +24V 입력공통 (+24V)
자동 운전중 신호입력
12 LR IN N0100411 N0100414 전압 입력
13 +24V 입력공통 (+24V)
장비간 기판 대기중 신호입력
14 LE IN N0100412 N0100415 전압 입력
⁎
1
듀얼 레인 사양의 장비에서 사용