YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第179页

Version 5.10 메인터넌스 매뉴얼 2020년 9월

A-4

1.3.2 NEXT INTERFACE

아래의 1~3 의 조건이 갖추어진 경우에 , 기판반출을 시작합니다 .

1. 본체가 기판반출 가능한 상태 （LANE1 BA OUT [T0100031]:ON/LANE2 BA OUT [T0100033]:NO）

2. 하류기로부터 기판반입 신호를 입력한 상태 （LANE1 BUSY IN [N0100410]:ON/LANE2 BUSY IN [N0100413]:ON）

3. 하류기로부터 자동운전 신호를 입력한 상태 （LANE1 LR IN [N0100411]:ON/LANE2 LR IN [N0100414]:ON)

요점

ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호（LR IN）가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다.

ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다.

ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다.

ㆍ LANE2 의 어드레스는, 듀얼레인 사양의 장비에서 사용합니다.

NEXT INTERFACE 회로

NEXT INTERFACE

커넥터

본체측 NEXT INTERFACE

하류기

AMP 206043-1

(14핀・리셉터클)

BUSY IN

(LANE 1:N0100410)

(LANE 2:N0100413)

+24V

UR OUT

(LANE 1:T0100030)

(LANE 2:T0100032)

LR IN

(LANE 1:N0100411)

(LANE 2:N0100414)

+24V

LE IN

(LANE 1:N0100412)

(LANE 2:N0100415)

BA OUT

(LANE 1:T0100031)

(LANE 2:T0100033)

반입중 출력

반출요구 입력

자동 운전중 입력

자동 운전중 출력

장비간 기판 대기중 출력

I/O BOARD

GND GND

57A05-N2-00

■

기판반송 신호사양 (

NEXT INTERFACE)

Pin No. 신호명

어드레스

입출력 사양 신호사양

LANE1 LANE2

⁎

1 +24V 입력공통 (+24V)

기판 반입중 신호입력

2 BUSY IN N0100410 N0100413 전압 입력

3 BA OUT T0100031 N0100033 릴레이 접점출력

기판반출 요구 신호출력

4 BA OUT T0100031 N0100033 릴레이 접점출력

5 비었음

6 비었음 ( 더미핀 있음 ) ( 오삽입 방지 )

7 GND

8 비었음

9 UR OUT T0100030 N0100032 릴레이 접점출력

자동 운전중 신호출력

10 UR OUT T0100030 N0100032 릴레이 접점출력

11 +24V 입력공통 (+24V)

자동 운전중 신호입력

12 LR IN N0100411 N0100414 전압 입력

13 +24V 입력공통 (+24V)

장비간 기판 대기중 신호입력

14 LE IN N0100412 N0100415 전압 입력

⁎

듀얼 레인 사양의 장비에서 사용

점검 체크시트

시리얼 No ：

일상적인 점검 ~1 개월 까지의 점검항목 (OP 제외 ) 이 기재되어 있습니다 .

이 페이지를 복사해서 활용해 주십시오 .

점검에 관한 상세한 내용 및 , 2 개월 이상의 주기 점검에 관해서는 본서에

자세하게 설명되어 있습니다 .

섹션 항목 대상 점검／작업내용

매주 ( 월／일 ) 매월 수리

・

교환

／／／／／／

／

헤드부 HM/FM

노즐

선단부

노즐의 선단부를 육안으로 확인합니다 . 노즐선단 클리닝 테이프 ( 동봉품 ) 등을 사용

해서 부품 흡착면 ( 선단부 ) 의 더러움을 제거합니다 .

노즐 스프링부

노즐 선단을 손가락으로 눌러서 탄성동작을 확인합니다 . 동작이 원활하지 않을 경우

에는 , 분해하고 세정한 후 급유합니다 .

에어경로

노즐 개방시의 진공레벨이 NG 일 경우 , 또는 한 달을 기준으로 에어 블로우 툴 및

노즐 청소용 와이어 등을 사용해서 노즐의 에어경로를 청소합니다 .

판스프링 ( 롤러 로크 ) 노즐 장착상태

손으로 노즐을 탈장착해서 , 판스프링 ( 롤러 로크 ) 에 충분한 유지력이 있는지 확인

합니다 . 변경이나 마모의 유무를 확인하고 , 상태가 양호하지 않으면 교환합니다 .

X-Y 축

X축

볼스크류

닦기용 와이퍼 등으로 볼스크류를 청소하고 , 구리스건으로 지정 구리스 (NSL) 를 급

유합니다 . 볼스크류를 동작시켜서 구리스가 스며들도록 합니다 .

가이드

닦기용 와이퍼 등으로 가이드를 청소하고 , 구리스건으로 지정 구리스 (NSL) 를 급유

합니다 . 가이드를 동작시켜서 구리스가 스며들도록 합니다 .

Y축

가이드

닦기용 와이퍼 등으로 가이드를 청소하고 , 구리스건으로 지정 구리스 (NSL) 를 급유

합니다 . 가이드를 동작시켜서 구리스가 스며들도록 합니다 .

리니어 스케일

리니어 스케일부가 구리스 등으로 더러워져 있지 않은지 확인하고 , 더러워져 있을

경우에는 , 본서의 「제 3 장 2.2.1」 를 참조해서 청소해 주십시오 .

컨베이어

기판센서 센서상태

센서부에 먼지나 더러움 등이 있으면 청소합니다 .

컨베이어 폭을 변경해도 에러없이 센서가 정확하게 동작하는지 확인합니다 .

인식장치

멀티 카메라 보호 글래스

멀티 카메라의 조명 보호 글래스상에 먼지가 있으면 청소합니다 . 더러움이 심할 경

우는 , 닦기용 와이퍼에 렌즈용 클리너를 조금 적셔서 청소합니다 .

테이프 커터

칼날

컷트 상태

이음

테이프 컷트시에 이음의 발생여부를 확인합니다 .

빈 테이프 박스내의 캐리어 테이프가 올바르게 컷트되어 있는지 확인합니다 .

※이상이 발생했을 때에는 , 대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 .

피더뱅크

（고정뱅크 사양의 경우）

피더 플레이트 플레이트

피더 플레이트상을 육안으로 점검합니다 . 먼지나 이물질 등이 있을 경우에는 , 가정

용 청소기 ( 또는 , 버큠 ASSY) 등으로 청소합니다 .

일괄교환대차

피더 플레이트

※1

플레이트

클램프 유닛

피더 플레이트 및 클램프 유닛 주변을 육안으로 점검합니다 . 먼지 등이 있을 경우는 ,

가정용 청소기 ( 또는 , 버큠 ASSY) 등으로 청소합니다 .

위치 결정부

※1

위치 결정핀

일괄교환 대차쪽과 장비쪽의 위치 결정부 ( 핀 ) 의 오래된 구리스를 닦아내고 , 면봉

등으로 지정 구리스 (NSL) 를 도포합니다 .

이오나이저

（본체 옵션）

방전침 선단부 청소

메인 에어공급을 차단시키고 , 방전침의 선단부를 에탄올을 적신 면봉으로 청소한

후 , 잠시동안 건조시킵니다 . 청소를 해도 에러가 개선되지 않을 경우에는 방전침을

교환합니다 .

※1

일괄교환 대차의 유지보수의 상세 및 트레이체인저의 유지보수에 관해서는 , 별책 「Z:LEX 옵션 매뉴얼」 을 참조해 주십시오 .

Version 5.10

메인터넌스 매뉴얼

2020년 9월