YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第25页
5.2 컨베 이어부 3-44 5.2. 1 컨 베 이 어 벨 트의 점검과 가 이 드의 청소 3- 4 4 5.3 W 축의 청소 와 급 유 3-52 5.3. 1 YSM20 듀얼 스테 이 지 의 W/U 축의 청소와 급유 3-52 5.3.2 YSM2 0/ YSM20 W 듀얼 레 인 의 W 축 의 청소와 급유 3-57 5.3.3 YSM2 0/ YSM20 W 싱 글레 인 사양의 W 축의 청 소와 급유 3…

1.2 노즐의 청소 3-3
1.2.1 노즐 스프링부의 청소와 급유 3-3
1.2.2 노즐 에어경로의 청소 3-4
1.2.3 노즐 선단부의 청소 3-5
1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서 3-7
1.3 그리퍼 노즐 ( 옵션 ) 의 청소와 급유 3-10
1.3.1 그리퍼 노즐의 점검 3-10
1.3.2 그리퍼 노즐의 청소와 급유 3-10
1.4 멀티 카메라 조명 보호 글래스의 청소 3-12
2. 매월 3-13
2.1 X 축부 3-14
2.1.1 X 축 볼스크류의 청소와 급유 3-14
2.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-16
2.2 Y 축부 3-17
2.2.1 Y 축 가이드의 청소와 급유 및 리니어 스케일의 청소 3-17
2.3 컨베이어부 3-19
2.3.1 컨베이어 센서의 상태와 동작확인 3-19
3. 3 개월 3-20
3.1 에어필터의 청소와 교환 3-20
3.2 이젝터 진공레벨의 확인 3-21
3.3 각 헤드의 블로우 밸브와 청소용 블로우 밸브의 확인 3-22
3.4 샤프트 선단부의 확인 3-24
3.5 HM 헤드의 Z 축 동작확인 3-25
3.5.1 HM 헤드의 스플라인 샤프트 Z 축의 동작확인 3-25
3.5.2 HM 헤드의 스플라인 샤프트 주변의 확인과 청소 3-25
3.5.3 HM 헤드의 스플라인 샤프트의 급유 ( 필요시에만 ) 3-26
3.6 FM 헤드의 Z 축 볼스크류 주변의 청소와 급유 3-27
3.7 PU 축 3-29
3.7.1 PU 축 볼스크류의 청소와 급유 3-29
3.8 흡기 팬의 필터 3-31
3.8.1 YSM20 의 필터 청소 3-31
3.8.2 YSM20W 의 필터 청소 3-32
3.9 장비 배면의 필터 청소 3-33
4. 6 개월 3-34
4.1 카메라 조명 유니트의 청소 3-34
4.1.1 피듀셜 카메라 3-34
4.1.2 멀티 카메라의 청소 3-35
4.1.3 HM 헤드의 스캔 카메라 청소 3-36
4.1.4 FM 헤드의 사이드뷰 카메라의 간이청소 3-37
4.2 컨트롤러 박스의 필터 청소 3-38
5. 1 년 3-40
5.1 스플라인 샤프트내부의 청소 3-40
5.1.1 HM 헤드 3-4 0
5.1.2 FM 헤드 3-42

5.2 컨베이어부 3-44
5.2.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드의 청소 3-44
5.3 W 축의 청소와 급유 3-52
5.3.1 YSM20 듀얼 스테이지의 W/U 축의 청소와 급유 3-52
5.3.2 YSM20/YSM20W 듀얼레인의 W 축의 청소와 급유 3-57
5.3.3 YSM20/YSM20W 싱글레인 사양의 W 축의 청소와 급유 3-60
5.4 샤프트 선단부의 청소 3-63
5.4.1 HM 헤드의 샤프트 선단부의 청소 3-63
5.4.2 FM 헤드의 샤프트 선단부의 청소 3-65
5.5 에어 / 미스트 필터의 교환 및 컵의 청소 3-67
5.6 FM 헤드의 사이드뷰 카메라 내부의 청소 3-69
6. 2 년 3-73
6.1 이젝터용 BIT 의 교환 3-73
제 4 장 옵션부의 유지보수
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저 방전침의 교환 (2 년 ) 4-3
2. UPS( 무정전 전원장치 ) 4-4
2.1 UPS 배터리의 교환 (3 년 ) 4-4
3. 노즐 스테이션 4-5
3.1 노즐 스테이션 센서의 상태확인과 청소 (1 년 ) 4-5
제 5 장 급유개소 일람
1. 급유준비 5-1
1.1 적용 구리스 5-1
1.2 구리스건 5-2
2. 급유개소와 주기 ( 본체 ) 5-3
2.1 X 축 5-3
2.2 Y 축 5-4
2.3 W 축 (U 축 ) 5-5
2.3.1 듀얼 스테이지 사양 5-5
2.3.2 듀얼레인 사양 5-6
2.3.3 싱글레인 사양 5-7
2.4 PU 축 5-8
2.4.1 듀얼 스테이지 사양 5-8
2.4.2 듀얼레인 사양 5-9
2.4.3 싱글레인 사양 5-10
2.5 헤드부 5-11
2.5.1 HM 헤드유닛 5-11
2.5.2 FM 헤드유닛 5-12

제 6 장 소모품의 교환
1. 노즐 6-1
1.1 노즐 선단부와 스프링의 교환 6-1
1.2 노즐 O 링의 교환 6-2
2. 노즐 판스프링과 롤러 로크 6-3
2.1 노즐 판스프링의 교환 6-3
2.1.1 HM 헤드 6-3
2.1.2 FM 헤드 6-5
2.2 FM 헤드의 롤러 로크의 교환 6-6
3. 헤드 유닛부 6-7
3.1 HM 헤드의 밸브 교환 6-7
3.2 FM 헤드의 밸브 교환 6-8
4. 컨베이어 6-9
4.1 컨베이어 벨트의 교환 6-9
부록
1. 사양 A-1
1.1 에어압 조정부 A-1
1.2 전원 접속부 A-2
1.3 기기간 입출력 커넥터 A-3
1.3.1 PREVIOUS INTERFACE A-3
1.3.2 NEXT INTERFACE A-4