YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第133页
4-1 4 1. 이 오 나 이 저 이 오 나이저 는 , 장 기간의 사용 으로 인해 방전 침 ( 전 극 ) 이 마 모 해 서 노 화되 어 기 능이 저 하되 면 , 새 로 운 방전 침 으로 교환 할 필 요가 있 습니 다 . 또 한 , 제전 효과나 이 온 밸 런 스를 유 지 하 기 위 해서 정기 적 인 청 소도 실 시할 필요 가 있 습니 다 . 다음 과 같 이 청 소와 교환 방법에 대 해 서 설 …

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1. 이오나이저
이오나이저는 , 장기간의 사용으로 인해 방전침 ( 전극 ) 이 마모해서 노화되어 기능이 저하되면 , 새로운 방전침
으로 교환할 필요가 있습니다 . 또한 , 제전효과나 이온 밸런스를 유지하기 위해서 정기적인 청소도 실시할 필요
가 있습니다 . 다음과 같이 청소와 교환 방법에 대해서 설명합니다 .
c
주의
이오나이저의 방전침 선단은 뾰족하며 전압이 흐르고 있습니다 . 장비의 안전 커버를 열면 , 이오나이저로의 전원공급은 차단됩니다만 ,
장비내에서 유지보수 작업을 실시할 경우는 , 이오나이저의 선단부에 직접 손이 닿지 않도록 주의해 주십시오 .
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이오나이저 본체의 LED 표시
+ -
Trinc
ERR PREC
GOOD
PREC
ERR
이오나이저 한 개에 3군데의 표시부가 있다
이오나이저
LED 표시내용
57400-N2-00
•
통상시 (GOOD): 파란색 점등
•
이온 밸런스 보정량 (+PREC, -PREC): 녹색 점등
방전침이 더러워져 있는 상태입니다 . 방전침을 청소할 필요가 있습니다 .
•
이온 밸런스의 비정상 (+ERR, -ERR): 빨간색 점멸
방전침이 아주 더러워져 있거나 , 노화되어 있을 우려가 있습니다 . 장비측에도 에러가 표시됩니다 .
n
요점
이오나이저의 제전 성능은 , 제전 대상이 되는 기판이나 부품의 제질 , 형상에 따라 달라지므로 , 완벽하게 제전을 보장할 수는 없습
니다 .

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1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 )
이 작업은 , 매월 또는 이오나이저 본체의 LED 가 녹색으로 점등 (
+PREC, -PREC
) 되어 있을 경우에 실시합
니다 .
1
이오나이저 전원을 OFF 합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
열면 이오나이저의 전원이 차단됩니다 .
2. 이오나이저의「POWER」의 녹색 LED 가 소등
되어 있는지 확인해 주십시오 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후는 , 방전침에 전압이 남아 있으므로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
에어 공급을 OFF 합니다 .
장비정면 좌측 하단의 패널을 열고 ,「에어 공급 /
배출」밸브를 우측으로 돌려서 에어 공급을 차단
합니다 .
3
방전침을 청소합니다 .
1. 이오나이저의 부속 브러시 , 또는 면봉 등으로
방전침의 선단부 및 센서부 ( 금색 시트 부분 )
의 더러움을 제거해 주십시오 .
2. 더러움이 심할 경우는 , 면봉에 무수 에탄올을
조금 적셔서 방전침을 닦아 주십시오 . 청소후,
잠시 그대로 건조시킵니다 .
n
요점
방전침 유닛을 탈착해서 방전침을 청소하는 방법도 있습니다.
방전침 유닛의 탈장착은 , 후술의「1.2 이오나이저 방전침의 교
환 (2 년 )」을 참조해 주십시오 .
c
주의
방전침 유닛을 탈착해서 청소할 경우 , 무수 에탄올 등에 담궈두
지 마십시오 . 내부에 무수 에탄올이 남아 있는 상태에서 고전압
을 가하면 , 이오나이저 본체가 파손될 우려가 있습니다 .
4
에어를 공급하고 전원을 투입합니다 .
1. 에어 공급 / 배출 밸브를 전환해서 장비에 에어
를 공급합니다 .
2. 장비의 안전 커버를 닫고 ,「READY」버튼을
누릅니다 .
3. 이오나이저의「GOOD」의 파란색 LED 가 점
등하고 , 에러가 발생하지 않음을 확인합니다 .
방전침의 청소
부속 브러시
센서의 청소부분
방전침
Step 3
57401-N2-00
