YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第135页

4-3 4 1 .2 이오나이저 방전침의 교 환 ( 2 년 ) 전술의 「1 . 1 이 오 나 이 저 방 전 침 의 청 소 ( 매 월 ) 」 를 실 시 해 도 , 여 전 히 이 온 밸 런 스의 이 상 을 표 시 하는 LED ( + ERR, -ERR ) 가 소 등 되 지 않 을 경 우 , 또 는 2 년 을 기 준 으로 이 오 나이 저 의 방 전 침 (KH N - M 8 3 P1 - 0 0 X : …

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4-2
4
1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 )
작업 , LED 으로 (
+PREC, -PREC
)
니다 .
1
이오나이저 전원을 OFF 합니 .
e
1. 비상정튼을 누르고 , 장안전 커버
오나이저차단 .
2. 저의「POWER LED 소등
있는주십시 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
에어 OFF 합니다 .
장비정좌측 단의 ,「에어 공급 /
출」밸브를 우으로 돌려서 에어 공급을 차단
니다 .
3
방전침청소합니다 .
1. 오나이저부속 브러 , 또는 으로
방전단부 센서 ( 금색 부분 )
러움을 제거주십시 .
2. 움이 심할 경우는 , 면봉에 무수 올을
조금 적셔서 방전침을 닦아 주십시 . 청소,
잠시 그대조시 .
n
요점
침 유을 탈착해서 방을 청하는 방도 있.
침 유의 탈 , 후술「1.2 나이저 방의 교
(2 )」을 참해 주십 .
c
주의
방전침 유닛을 탈착해서 청소할 경우 , 무수 에탄올 등에 담궈두
지 마십시오 . 내부에 무수 에탄올이 남아 있는 상태에서 고전압
을 가하면 , 이오나이저 본체가 파손될 우려가 있습니다 .
4
에어를 공급하고 전원을 투입합니다 .
1. 에어 공 / 밸브전환해서 장에어
공급합니 .
2. 장비의 안전 ,「READY」버튼
니다 .
3. 저의「GOOD」의 LED
등하 , 에러발생않음을 확인합니 .
방전침의 청소
부속 브러시
센서의 청소부분
방전침
Step 3
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4
1.2 이오나이저 방전침의 (2 )
전술의「1.1 ( ) , 스의 하는
LED(+ERR, -ERR) , 2 으로 나이(KHN-M83P1-
00X:Needle set/ 4 ) 요가 . 나이1 12 .
으로 나이1 , 1 24 .
1
장비의 전원을 OFF 합니 .
e
1. 비상정튼을 누르고 , 장안전커
픈하면 , 오나이저공급이
됩니다 .
2. 저의 LED 소등되음을
인합니다 .
w
경고
전원을 OFF 한 직후 , 방전침에 전압이 남아 있로 ,
만지면 위험하오니 주의해 주십시오 .
2
에어 차단합니다 .
장비정좌측 단의 ,「에어 공급 /
출」밸브를 우으로 돌려서 에어 공급을 차단
니다 .
3
방전침분리합니다 .
우측 림과 같방전크를 가락으
집어주십시 .
4
방전침교환합니다 .
방전교환때는 , 방전유닛쪽의 부분
장착쪽흠부를 맞춰서 주십시 .
5
전성능인합니다 .
플레모니경우는 재전성능을
확인해 주십시 .
1. 「에공급 / 배출」밸좌측으로 돌려서
장비에 에어공급합니 .
2. 장비의 전원ON 합니다 .
3. 플레모니피더 흡착위부근에
놔두 , 제전 성능을 확인합니 .
n
요점
전 성의 규 , 피더 흡착의 감측정 시
(+1000V 의 대이 +100V 지 감하는 시 ):
15 초 이.
을 교환해도 제전 성이 복귀지 않, 또
나이서 에가 계속 발할 경 , 대
는 야로 연락해 주십 .
n
요점
나이의 상한 사양은 , 제조사의 취급 설를 참
해 주십 .
방전침의 분리
Step 3
후크
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2. UPS( 무정전 전원장치 )
2.1 UPS 배터리의 (3 )
, . 사용따라 다릅 , 3 으로
(KGA-M6566-30X) 하실 . 다음같이 UPS
.
w
경고
배터리의 교환 작업 , 전기 작업의 경험 및 지식을 가진 분이 해 주십시 .
1
장비의 전원을 OFF 합니 .
장비의 전원차단하고 , 몇초후에 UPS 전원
OFF 주십시 .
w
경고
비상정지 상태 등 , UPS 기능이 작동하고 있는 상태에
업하지 마십시오 .
2
프론트 널을 분리합니다 .
드라이버나사를
십시오 .
3
배터리 커넥터를 분리합니다 .
UPS 측과 장용 커넥분리시켜
십시오 .
4
배터리 고정구합니 .
배터고정나사를 빼서 , 배터고정
구를 탈착주십시오 .
5
새로배터리로 교환합니다 .
교환할 배터 , 배터리를 삽합니
다.
6
원상태합니다 .
Step2~Step4 반대 으로 UPS 상태로
장착해 .
7
UPS 태를 확인합니다 .
1. 장비의 공급합니 .
2. UPS 조작패「ON」버튼을 눌
BATTERY LED 소등되어 있는
십시오 .
8
배터리의 교환 년월을 기록합니다 .
UPS 경고라 ( 안전의 길잡이」참조 )
배터리의 교환 년월록해 주십시 .
n
요점
UPS 의 상한 취급 설에 관해 , 옵션 매「UPS( 무정전 전 )」또 , 제조사의 취급 설를 참해 주십
시오 .
Step 2-6
내장용 배터리의 교환
UPS본체
장비 정면의 우측 아래
내장용 배터리
내장용 배터리측
커넥터
UPS측 배터리
커넥터
UPS 조작 패널
배터리 고정구
프론트 패널
프론트 패널 후크
배터리 고정구
고정나사
프론트 패널
고정나사
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