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3OM-1602 第二章 2. 补正 ( 补正值 ) 数据 2-59 [2] Z( 角度 )[ ° ] 设定对装置基准 XY 坐标 (Xm-Ym 坐标 ) 的元件识别照相机扫描坐标的 角度偏离。以装置基准 XY 坐标系为基准,元件识别照相机扫描坐标往 逆时针方向倾斜时,补正值数据的符号为 “ + ” 。 Xm(+) Ym(+) Xm-Ym : 装置基准坐标系 Xc-Yc : 元件识别照相机坐标系 Xc(+) Yc(+) Xc(+) Yc…

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第二章 2. 补正 ( 补正值 ) 数据
2.9.1 元件认识 ( 识别 ) 照相机




F3B51
[1] X( )、Y( )[mm]
调整对装置基准坐标系原点到元件识别照相机中心的设计尺寸的位置
偏离。
Xm(+)
Ym (+)
Xm-Ym : 装置基准坐标系
Xc-Yc : 元件识别照相机坐标系
Xc(+)
Yc(+)
Xc(+)
Yc(+)
元件识别照相机中心
元件识别照相机中心
Pm.装置基准坐标原点
F3B52
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界面展开
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第二章 2. 补正 ( 补正值 ) 数据
2-59
[2] Z( 角度 )[
°
]
设定对装置基准 XY 坐标 (Xm-Ym 坐标 ) 的元件识别照相机扫描坐标的
角度偏离。以装置基准 XY 坐标系为基准,元件识别照相机扫描坐标往
逆时针方向倾斜时,补正值数据的符号为
+
Xm(+)
Ym(+)
Xm-Ym : 装置基准坐标系
Xc-Yc : 元件识别照相机坐标系
Xc(+)
Yc(+)
Xc(+)
Yc(+)
元件识别照相机角度
元件识别照相机角度
元件识别照相机
元件识别照相机
Pm.装置基准坐标原点
F3B53
[3] 倍率 X( )、Y( )[0.01
µ
m/pixel]
是设定元件识别照相机倍率的数据,用来设定 1 像素相当于多少微米。
该补正值在倍率测定用治具的教示操作下自动被算出。
初始值 :6060
1201-003
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第二章 2. 补正 ( 补正值 ) 数据
[4] Contrast( 对比度 )、Brightness( 亮度 )
调整元件识别照相机摄像的图像的亮度。
初始值
Contrast :102
Brightness :128
Note
(a) 增加对比度值
色彩效果好。
(b) 增加亮度值
整体变亮。
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