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第1部 基本篇 第3章 保养 3-4 3-2-2 配管及接头 请确认无空气泄漏。 图 3-2-2 空气阀 3-2-3 各单元气缸 接通主体的电源后，请选择“手动控制”项，进行动作确认。 确认空气泄漏 右侧面深处 销阀
第1部 基本篇 第3章 保养
3-3
选购件过滤器的更换步骤
步骤 1 请卸下（A）、(B) 的 4 个螺丝。
步骤 2 卸下(C)的 4 个螺丝。
步骤 3 请更换过滤器元件，0 环，垫圈。
步骤 4 按照与拆卸时相反的步骤进行安装。
（B）
（A）
0环
垫圈
过滤器元件
PF901007000
（C）
第1部 基本篇 第3章 保养
3-4
3-2-2 配管及接头
请确认无空气泄漏。
图 3-2-2 空气阀
3-2-3 各单元气缸
接通主体的电源后，请选择“手动控制”项，进行动作确认。
确认空气泄漏
右侧面深处
销阀
第1部 基本篇 第3章 保养
3-5
◇ 请参考以下的配管图。
(1) 配管系统图(主体)
Cell block
A
B
P
R
A
B
A
B
ATC
φ
12
工程配管
雾分离
压力开关
压力表
复式接头
φ
6
CVS
φ6 ST=30
(可选)
(
排出器)
φ
6
φ
8
φ
8
φ
6
φ
6
φ
6
φ
6
贴片头组件
驱动气缸20L F
驱动气缸20R F
连接器台 F
驱动气缸 20L R
驱动气缸 20R R
连接器台 R
统一交换台 F
统一交换台 R
(
可选)
带电磁
阀的
复式
接
头
传送螺线管
φ4
φ
4
φ
4
φ
4
φ
4
AE/E阀
AE/E阀
φ
4
φ
4
(仪表接入)
挡块
(可选)
夹杆Y (x5)
(可选)
夹杆X (x5)
φ
4
调整器 滤光镜