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第2部 功能详细篇 第1 1章 自动校准 11-3 11-2 设置组 11-2-1 XY 校正系数 图 11-2-1-1 XY 校正系数 (1) 设置项目 No. 项目 设置内容 1 XY 轴停止精度校正参数 XY 轴停止精度的校正参数 (2) 设置方法 请按照操作内的指示进行设置。 如果选择“确定”，则设定值生效。(此时设定值不被保存。) 如果选择“取消”，则设定值无效。 操作方法 按照指示进行操作,将自动获得设定值。 图…
第2部 功能详细篇 第11章 自动校准
11-2
11-1-2 设置项目的选择
从下述菜单或画面左侧的命令按钮组中选择项目，则显示与各项目相对应的画面。
设置组
不能选择没有在MS参数的“选项”设置中选择的(未安装)组件。
图 11-1-3 设置组的项目
11-1-3 设置值的保存
各设置画面中都有“是”和“取消”按钮。
此时即使选择了“是”，也不会被保存设置值。
选择菜单栏的“文件(F
)”/“退出应用程序(X)”或命令按钮的“结束”，则显示是否
进行保存的确认。此时如果选择“是(Y
)”则保存设定值。
图 11-1-4 保存确认
表 11-1-2 设置按钮的说明
No. 按钮选择 处理
1 是 保存设定值，从自动校准中退出。
2 否 取消设定值，从自动校准中退出。
3 取消 取消结束命令。
第2部 功能详细篇 第11章 自动校准
11-3
11-2 设置组
11-2-1 XY 校正系数
图 11-2-1-1 XY 校正系数
(1) 设置项目
No. 项目 设置内容
1 XY 轴停止精度校正参数 XY 轴停止精度的校正参数
(2) 设置方法
请按照操作内的指示进行设置。
如果选择“确定”，则设定值生效。(此时设定值不被保存。)
如果选择“取消”，则设定值无效。
操作方法
按照指示进行操作,将自动获得设定值。
图 11-2-1-1 (a)
请选择“运行”。
选择“运行”，则自动测量XY轴停止精度校正参数。
第2部 功能详细篇 第11章 自动校准
11-4
测量内容
① 获取底板架的温度，计算校正参数。
图 11-2-1-1 (b)
测量结束。
重复测量时，请选择“运行”。
选择“运行”，则显示上一个画面。
结束时，请选择“OK”。
当 XY 轴停止精度校正参数已改变时，需进行返回原点。
警告
单击“运行”后，轴会移动。单击“运行”前,请务必确认装置内部无人作
业。此外，为了避免人身伤害，在运行过程中，切勿将手放入装置内部，也
不要将脸和头靠近装置。
注意