KE-2070_2080 動作説明書.pdf - 第106页
R e v 1 . 00c 动作说明书 5- 14 ⑤ 真空值的换算 Ａ／Ｄ 变换的值换算成真空值的方法如下。 ５Ｖ １Ｖ ０ １９０ −７６０レベル ＊ Ａ／Ｄの読込み値Ｄｐに対する、バキューム値Ｐの算出方法 Ｐ＝−（（Ｄｐ−５１）×７６０／２０４ ）［レベル］ ０∼５Ｖ −−−→ ０∼２５５（ＦＦｈ） １∼５Ｖ −−−→ ５２∼２５５＝２０４ ０∼−７６０レベル −−−→ ５２∼２５５ 最小分解能＝７６０／２０４≒３．７２５［レベル…
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３、 ＤＩＰＳＷ２（８ｂｉｔ）
1
2
3
4
5
6
7
8
ON
Bit4∼1；基板組機能REV.設定
Bit8∼5；基板ﾊﾟﾀｰﾝREV.設定
＊ON側；1、OFF側；0
＊基板REV.管理表に従い設定す る。
ON 侧：1；OFF 侧：0
根据电路板 REV.管理表设定。
设定电路板组功能 REV.
设定电路板图案 REV.
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⑤真空值的换算
Ａ／Ｄ变换的值换算成真空值的方法如下。
５Ｖ
１Ｖ
０
１９０
−７６０レベル
＊ Ａ／Ｄの読込み値Ｄｐに対する、バキューム値Ｐの算出方法
Ｐ＝−（（Ｄｐ−５１）×７６０／２０４ ）［レベル］
０∼５Ｖ −−−→ ０∼２５５（ＦＦｈ）
１∼５Ｖ −−−→ ５２∼２５５＝２０４
０∼−７６０レベル −−−→ ５２∼２５５
最小分解能＝７６０／２０４≒３．７２５［レベル］
等 级
等 级
等 级
最小分辨率
等 级
对
A/ D
读 取 值
Dp
计 算真空值
P
的 计 算方法
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⑥ＬＥＤ显示灯的意义如下。
LD1（红）：L1-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD2（红）：L2-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD3（红）：L3-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD4（红）：L4-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD5（红）：L5-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD6（红）：L6-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD7（红）：R1-Z 轴减速传感器启动则亮灯。
LD8（红）：全部 Z 轴减速传感器启动则亮灯。（XY 轴可动作）
LD9（红）：DC24V 电源接通则亮灯。
5-1-9 操作基板（４０００１９５２）
（１）包括背面安装的操作ＳＷ基板的各开关
（起动、停止等）的状态读取（Ｒ）和ＬＥＤ（ＯＲＩＧＩＮ，
伺服）的亮灯和灭灯（Ｗ）。
（２）向ＳＡＦＥＴＹ基板通知护罩开放开关状态、伺服开关的状态、紧急开关等状态
（３）进行ＨＯＤ信号中转。