KE-2070_2080 動作説明書.pdf - 第84页
R e v 1 . 00c 动作说明书 3- 71 3-12-4 OCC(Offset Correction Camera)的 说 明 3-12-4-1 OCC 配件的构成 3-12-4-2 照明种类 3-12-4-3 照明图案 亮灯照明 对象基板 垂直 + 角度 硬基板 角度 挠性基板 3-12-4-4 电流调整值 标准值 偏差值 调整范围 (标准值+偏差值) 照明种类 最大值 T A P (调整量 ) 最大值 TAP (调整量) 最…

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2点的BOC标记时(与区域指定标记相同)
如上图所示,2点的BOC标记的理论坐标为M1、M2,各标记检测的坐标为M1、M2。
此时,把M1点设为中心,把M2点转动90°后的坐标作为Mv,在M1点为中心,把M2点转动90°
后的坐标作为Mv。把Mv、Mv分别作为设想的第 3 点的BOC标记的理论坐标、物理坐标,与M1,M2,
M1、M2一起把第 3 点作为BOC标记时同样,用P点的坐标计算出P点坐标,进行坐标修正。
图3−12−4

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3-12-4 OCC(Offset Correction Camera)的说明
3-12-4-1 OCC 配件的构成
3-12-4-2 照明种类
3-12-4-3 照明图案
亮灯照明 对象基板
垂直 + 角度 硬基板
角度 挠性基板
3-12-4-4 电流调整值
标准值 偏差值
调整范围
(标准值+偏差值)
照明种类
最大值
TAP
(调整量)
最大值
TAP
(调整量)
最小值 最大值
垂直照明 90 0.35 30 0.12 0 120
角度照明 345 1.35 115 0.45 0 460
3-12-4-2 照明种类
照明种类 颜色 功能 特点
垂直照明 红 照射基板标记周围
角度照明 红 照射基板标记中央
朝上方的 LED 照射光用棱镜管反射,对光轴取一
定的角度,使挠性基板上的标记对比度变得良
好。
照明种类 颜色 功能 特点
垂直照明 红 照射基板标记周围
角度照明 红 照射基板标记中央
朝上方的 LED 照射光用棱镜管反射,对光轴取一
定的角度,使挠性基板上的标记对比度变得良
好。
图 OCC 配件的构成
摄像机配件
照明配件
垂直照明基板
角度照明基板
CCD 摄像机
镜头

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3-12-4-3 照明图案
亮灯照明 对象基板
垂直 + 角度 硬基板
角度 挠性基板
3-12-4-4 电流调整值
标准值 偏差值
调整范围
(标准值+偏差值)
照明种类
最大值
TAP
(调整量)
最大值
TAP
(调整量)
最小值 最大值
垂直照明 90 0.35 30 0.12 0 120
角度照明 345 1.35 115 0.45 0 460