KE-2070_2080 動作説明書.pdf - 第16页
R e v 1 . 00c 动作说明书 3- 3 < 各轴原点复归前的预备动作 > 轴 预备动作的内容 X，Y 如果在近点限位开关上，则以 jog 方式向离开近点限位开关的方向移动， 在近点限位开关变为 OFF 处停止 jog。 Z 进行的预备动作是，使原点复归的开始高度与距近点 限位开关边缘约 6m m 的位置对齐。 θ 当无条件地进行原点复归动作时， 如果 Z 相与原点复归开始位置离开过多， 则以爬行速度寻找 Z 相需要…
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3-1-1-3 各轴各自的原点复归动作
<原点复归方式>
轴 原点复归方式 概述
X，Y 比例式原点复归 应用 Z 相进行原点复归。测到近点限位开关后与原点复归方向
反向移动，以检测出原点信号（Z 相）的位置作为原点。
Z 限位开关起点式原
点复归
在限位开关前端开始减速，再返回到限位开关前端，然后以爬
行速度进行移动，以距限位开关前端第 1 个 Z 相作为原点。
θ
比例式原点复归 采用与 XY 相同的比例式原点复归。由于 θ 轴没有近点限位开
关，所以与控制参数的限位开关逻辑相反，在始终处于检测到
近点限位开关的状态下进行原点复归。
近点ドグ
クリープ速度
起動
原点復帰速度
原点
Z相ﾊﾟﾙｽ
ドグクレードル式原点復帰
近点ドグ
Z相ﾊﾟﾙｽ
原点
ｽｹｰﾙ原点信号検出式原点復帰
起動
原点復帰速度
クリープ速度
近点ドグで減速
反転
近点ドグで減速
反転
限位开关起点式原点复归
起动
Z 相脉冲
原点复归速度
爬行速度
到限位开关减速
原点
反转
近点限位开关
比例原点信号检测式原点复归
起动
Z 相脉冲
原点复归速度
到限位开关减速
反转
近点限位开关
爬行速度
原点
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<各轴原点复归前的预备动作>
轴 预备动作的内容
X，Y 如果在近点限位开关上，则以 jog 方式向离开近点限位开关的方向移动，
在近点限位开关变为 OFF 处停止 jog。
Z 进行的预备动作是，使原点复归的开始高度与距近点限位开关边缘约 6mm
的位置对齐。
θ
当无条件地进行原点复归动作时，如果 Z 相与原点复归开始位置离开过多，
则以爬行速度寻找 Z 相需要非常长的时间。进行的预备动作是，为了缩短
这一时间而以高速寻找 Z 相，使原点复归开始点位于 Z 相附近。
3-1-2 支撑台原点复归动作
支撑台原点复归的过程如下所示。
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
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3-2 基板传送
1． ＩＮ马达（步进马达）
2． ＣＥＮＴＥＲ马达（步进马达）
3． ＯＵＴ马达（步进马达）
4． ＩＮ传感器
5． ＷＡＩＴ传感器
6． ＳＴＯＰ传感器
7． Ｃ・ＯＵＴ传感器
8． ＯＵＴ传感器
9． 止动器
10．Ｘ推进器
11. Ｙ推进器
12. 支撑台电动机（步进电动机）
13. 支撑台原点传感器
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