KE-2070_2080 動作説明書.pdf - 第113页
R e v 1 . 00c 动作说明书 5- 21 5-2-2 Ｚ，θ 轴的控制方式 Z 、 θ 轴的电动机控制采用半闭环控制方式， 在 Z 轴是进行元件的贴装及吸取等上下动作， 在 θ 轴是进行 元件激光识别及角度校正等旋转动作。 Z 轴及 θ 轴的控制组成图如下所示。 图 ５−２−２ 位置运动控制板 CH1 CH ２ CPCI 接口 SSCNET Ⅲ 光通信 SSCNET Ⅲ 光通信 SSCNET Ⅲ 光通信 SSCNET Ⅲ 光通…
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各 XL、XR、YL、YR 驱动器的控制，采用三菱运动控制系统，即 SSCNET，以光 50Mbps 的通信速
度进行 0.44ms 周期的电动机控制。
控制时，X 轴 Y 轴都利用全闭环控制驱动，外部编码器采用分辨率为 1µm 的磁性标尺。
X 轴驱动使用 XL 电动机、XR 电动机，电动机的控制以 XL 电动机为主动轴，以 XR 电动机为从动轴，
在同一的控制指令下进行工作。
来自磁性标尺的位置信息，是将一个检测头送来的信息分配给 XL、XR 侧，被输入到各电机驱动器。
Y 轴驱动使用 YL 电动机、YR 电动机，电动机的控制以 YL 电动机为主动轴，以 YR 电动机为从动轴，
在同一的控制指令下进行工作。
来自磁性标尺的位置信息，是 YL 侧和 YR 侧各自拥有，被输入到各电机驱动器。YL、YR 的微小偏移通
过原点复归动作校正。
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5-2-2 Ｚ，θ 轴的控制方式
Z、θ 轴的电动机控制采用半闭环控制方式，在 Z 轴是进行元件的贴装及吸取等上下动作，在 θ 轴是进行
元件激光识别及角度校正等旋转动作。
Z 轴及 θ 轴的控制组成图如下所示。
图５−２−２
位置运动控制板
CH1
CH ２
CPCI
接口
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
SSCNETⅢ
光通信
4 轴 1 体
放大器
MR
-
MD100
仅在 KE-2080 型时增加本 4 轴 1 体
放大器和 2 台电动机
4 轴 1 体
放大器
MR-MD100
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
θ 电动机
Z
电动机
*A
4 轴 1 体
放大器
MR
-
MD100
*A
4 轴 1 体
放大器
MR
-
MD100
*A
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
θ 电动机
Z
电动机
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
UVW 相驱动输出
编码器输出
（三菱串行）
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各 4 轴 1 体驱动器的控制，采用三菱运动控制系统，即 SSCNETⅢ，以光 50Mbps 的通信速度进行 0.88ms
周期的电机控制。
4 轴 1 体激励放大器（MR-MD100）与 2 台 θ 电动机、2 台 Z 电动机相连接，KE-2070 型安装有 3 个 4
轴 1 体激励放大器，驱动全部 12 轴。
KE-2080 型安装有 4 个 4 轴 1 体激励放大器，驱动全部 14 轴。
5-2-3 基板传送部的控制方式
① 传送中央电动机、传送 L 电动机、传送 R 电动机
进行基板传送的传送中央电动机、传送 L 电动机、传送 R 电动机，是通过使用部进电动机进行定
速控制。
② 支撑台马达
杀ｇ嗯下移动支撑台的ＢＵ马达，用步进马达和变换器进行控制定位。
③ 基板传送宽度自动调整马达
传送基板时自动进行调整的基板传送宽度自动调整马达，用步进马达和变换器进行控制定位。