KE-2070_2080 動作説明書.pdf - 第20页
R e v 1 . 00c 动作说明书 3- 7 3-2-2-1 支撑台电动机 KE2070/2080 型中，支撑台的上升速度能从高速 · 中速 · 低速 · 超低速中选择。支撑台的上升速度被设定为 低速 · 超低速时， 夹紧的预备进给动作也自动地变成超低速（ 16mm/s ）。并且，控制方法在上升时为时 间固定，在下降时为加速度固定。 各速度档次中的速度控制方式如下表所示。 最高速度 加速度/减速度 速度 行程 方式 移动时间 (mm…
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3-2-2 支撑台
支撑台、机械控制以及有效行程
基板上面高度
0.5mm
5mm
有效行程 52.5mm
MS 参数输入
２ mm
7mm
40mm(最大)
最大基板下限制
字亠佩殻
59mm
④原点高度位置
Ｂ
(
原点传感器
ON
方向
)
Ａ
(
原点传感器
OFF
方向
)
变换器检测零相
③软下方限制位置
①机械下方限制位置
②
字亠貧圭㏍㍉崙了崔
①：
下方向的机械限制高度
②：
上方向的机械限制高度
③：
在有效行程下限位置，是基板送入、送出时的待机位置。
有效行程上限位置从③的高度上升52.5ｍｍ上升位置、与②高度相同。
有效行程∶生产中可以驱动的行程范围
（注） 基板下限制可以在从5mm起40mm的范围，以１mm单位进行设定。
违反的基板下限制为40ｍｍ。
（注） ③的有效行程下限高度，根据基板下限而变化。
因此，有效行程也按下式变化。
有效行程(mm) ＝基板下限(mm)＋5＋7＋0.5
基板送入·送出时的待机高度也同样变化。
以有效行程上限为基准高度
待机高度(mm)＝基板下限(mm)＋5＋7
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3-2-2-1 支撑台电动机
KE2070/2080 型中，支撑台的上升速度能从高速·中速·低速·超低速中选择。支撑台的上升速度被设定为
低速·超低速时，夹紧的预备进给动作也自动地变成超低速（16mm/s）。并且，控制方法在上升时为时
间固定，在下降时为加速度固定。
各速度档次中的速度控制方式如下表所示。
最高速度 加速度/减速度
速度 行程 方式 移动时间
(mm/s) (pps) (mm/s
2
) (pps
2
)
5 加速度固定 - 16.675 667 56.0 2222
50 时间固定 600 166.675 6667 556.0 22222
高速
- 梯形驱动 - 166.675 6667 556.0 22222
5 加速度固定 - 10.425 417 22.0 869
50 时间固定 960 104.175 4167 217.0 8681
中速
- 梯形驱动 - 104.175 4167 217.0 8681
5 加速度固定 - 9.250 370 17.0 686
50 时间固定 1080 92.575 3703 171.0 6859
低速
- 梯形驱动 - 92.575 3703 171.0 6859
5 加速度固定 - 4.628 185 4.285 171
50 时间固定 2160 46.287 1852 42.85 1714
超低速
- 梯形驱动 - 46.287 1852 42.85 1714
再夹紧时的顺序如下图所示。
速度
減速時間
減速距離
予備送り速度
予備送り距離
減速停止時間予備送り時間1
BUテーブル上昇時間
BUテーブル
上昇待ち時間
基板クランプ時間
予備送り時間2
速度
预备进给时间 1
减速距离
减速时间
预备进给速度
预备进给距离
预备进给时间 2
减速停止时间
BU 台上升时间
基板夹紧时间
BU 台上升
等待时间
STOP
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传送速度和预备进给动作如下表所示。
传送速度
减速距离
（mm）
减速时间
（ms）
预备进给
时间 1
（ms）
预备进给
时间 2
（ms）
预备进给
速度（mm/s）
预备进给
距离（mm）
减速停止
时间（ms）
高速（400） 20.0 100 100 400 56 43.85 100
高速（300） 19.5 130 100 400 56 43.85 100
中速 20.0 200 15 1650 14 23.7 100
低速 20.0 400 15 1650 14 23.7 100
支撑台上升时机、X 推杆动作开始时机根据支撑台上升速度进行切换。
Y 推杆动作开始时机均为距动作开始 400ms 后（支撑台上升结束 200ms 之前）。
支撑台速度和基板夹紧时间如下所示。
支撑台
速度
传送速度
基板夹紧
时间（ms）
支撑台上升
时间
（ms）
支撑台
等待时间
（ms）
支撑台
上升开始
时机
X 推杆
动作时机
高速(400) 700
高速(300) 730
中速 800
高速
低速 1000
600 100
与预备进给开始
同时
与支撑台
上升开始同时
高速(400) 1060
高速(300) 1090
中速 1160
中速
低速 1360
960 460
与预备进给开始
同时
从支撑台上升
开始经 360ms
后
高速(400) 1950
高速(300) 1980
中速 2050
低速
低速 2250
1080 200
从与预备进给开
始经 770ms 后
从支撑台上升
开始经 480ms
后
高速(400) 3030
高速(300) 3060
中速 3130
超低速
低速 3330
2160 1280
从与预备进给开
始经 770ms 后
从支撑台上升
开始经 1560ms
后