KE-2070_2080 動作説明書.pdf - 第22页
R e v 1 . 00c 动作说明书 3- 9 3-2-3 基板传送同步时间图 1 ） 传送速度：高速；支撑台上升速度：高速 INｾ ﾝ ｻ WAIT ｾﾝｻ STOPｾﾝｻ INﾓ ｰ ﾀ ｾﾝﾀｰﾓ ｰﾀ ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ 100ms ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ 外形基準(Xﾌ ﾟｯ ｼｬ) 外形基準(Y ﾌﾟ ｯｼｬ) 100ms 100ms 動作時間 60 0ms 400ms 400ms 予備 送 り ( 距 離 43 …
Rev1.00c
动作说明书
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传送速度和预备进给动作如下表所示。
传送速度
减速距离
（mm）
减速时间
（ms）
预备进给
时间 1
（ms）
预备进给
时间 2
（ms）
预备进给
速度（mm/s）
预备进给
距离（mm）
减速停止
时间（ms）
高速（400） 20.0 100 100 400 56 43.85 100
高速（300） 19.5 130 100 400 56 43.85 100
中速 20.0 200 15 1650 14 23.7 100
低速 20.0 400 15 1650 14 23.7 100
支撑台上升时机、X 推杆动作开始时机根据支撑台上升速度进行切换。
Y 推杆动作开始时机均为距动作开始 400ms 后（支撑台上升结束 200ms 之前）。
支撑台速度和基板夹紧时间如下所示。
支撑台
速度
传送速度
基板夹紧
时间（ms）
支撑台上升
时间
（ms）
支撑台
等待时间
（ms）
支撑台
上升开始
时机
X 推杆
动作时机
高速(400) 700
高速(300) 730
中速 800
高速
低速 1000
600 100
与预备进给开始
同时
与支撑台
上升开始同时
高速(400) 1060
高速(300) 1090
中速 1160
中速
低速 1360
960 460
与预备进给开始
同时
从支撑台上升
开始经 360ms
后
高速(400) 1950
高速(300) 1980
中速 2050
低速
低速 2250
1080 200
从与预备进给开
始经 770ms 后
从支撑台上升
开始经 480ms
后
高速(400) 3030
高速(300) 3060
中速 3130
超低速
低速 3330
2160 1280
从与预备进给开
始经 770ms 后
从支撑台上升
开始经 1560ms
后
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动作说明书
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3-2-3 基板传送同步时间图
1） 传送速度：高速；支撑台上升速度：高速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms
100ms
動作時間 600ms
400ms
400ms
予備送り ( 距離 43.85mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間 430ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm)
動作時間 200ms
(2.8mm)
56mm/s400mm/s
2） 传送速度：高速；支撑台上升速度：中速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms
100ms
動作時間 960ms
400ms
400ms
予備送り ( 距離 43.85mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間 430ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm)
動作時間 200ms
(2.8mm)
56mm/s
360ms
400mm/s
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.85mm）
动作时间 600ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.85mm）
动作时间 960ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms
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动作说明书
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3） 传送速度：高速；支撑台上升速度：低速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms
100ms
動作時間
1080ms
1650ms
480ms
予備送り ( 距離 43.7mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間
430ms
(0.7mm)
(0.1mm + 22.9mm)
動作時間
200ms
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
4） 传送速度：高速；支撑台上升速度：超低速
INｾﾝｻ
WAITｾﾝｻ
STOPｾﾝｻ
INﾓｰﾀ
ｾﾝﾀｰﾓｰﾀ
ﾊﾞｯｸUPﾌﾟﾚｰﾄﾓｰﾀ
100ms
ｾﾝﾀｰｽﾄｯﾊﾟｰ
外形基準(Xﾌﾟｯｼｬ)
外形基準(Yﾌﾟｯｼｬ)
100ms 100ms
動作時間
2160ms
1650ms
1560ms
予備送り ( 距離 43.7mm)
XY軸
生産開始位置へ移動
動作時間
430ms
(0.7mm)(0.1mm + 22.9mm)
動作時間
200ms
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.7mm）
动作时间 1080ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms
XY 轴
IN 传感器
WAIT 传感器
STOP 传感器
IN 电动机
中央电动机
基板背型夹具板电动机
中央止动器
外形基准（X 推杆）
外形基准（Y 推杆）
向生产开始位置移动
预备进给（距离 43.7mm）
动作时间 2160ms
动作时间
430ms
动作时间 200ms