NXT-IIc 机械手册.pdf - 第177页
5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S 152 NXT IIc 机械手册 H12S 工作头 H12SQ 工作 头 棱镜的玻璃面 ( 仅仅是 H12SQ 工 作头 ) ●- - - - - - - 5 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20 升降杆内部 - - ● - - - - - 35 升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10 Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - …
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 151
H08 工作头
H08Q 工作头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H08Q 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H08M 工作头
H08MQ 工作
头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H08MQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
升降杆端面 - ★ - - - - - - 20
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 )
升降杆齿轮
--★---- - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
152 NXT IIc 机械手册
H12S 工作头
H12SQ 工作
头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H12SQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H12HS 工作
头
H12HSQ 工作
头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H12SQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 153
V12 工作头 镜子 ● - - - - - - - 2
棱镜玻璃面 ● - - - - - - - 1
升降杆和升降杆内 O 型圈 - ★ - - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - ★ - - - - - - 10
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
槽凸轮的槽 - - - - - - ★ - 5
元件相机镜头 - - - - - - - ● *17
搬运轨道 电路板通过确认传感器 - - - - - ● - - 5
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲ *9 10
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *9
软支撑销 - - - - - - - ● *10
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *11
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *9
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *12
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )