NXT-IIc 机械手册.pdf - 第386页
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换 NXT IIc 机械手册 361 工具类 6.16.3 更换方法 真空泵的拆除 1. 取下真空泵上的 2 个模组，使主开关 OFF。 2. 等待真空泵的表面温度下降到室温 为止。 3. 请拆除螺丝、盖板。 工具 六角扳手套件 - 转矩扳手 5 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 1 0 Nm) 6 mm 内六角 扳手 ( 紧固转矩 1 2 Nm) 十字螺丝刀 No.2 其他 工业用乙醇酒精…
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
360 NXT IIc 机械手册
6.16 4M-2c 基座用泵的损耗品 <DOP-400SA>
请将吸气阀、垫圈等的损耗品与真空泵维修保养套件的新部件进行更换。
4M-2c 基座根据销售时期真空泵的型号不同。请确认真空泵表面 ( 下记插图圈印 ) 贴的标
牌的型号，记载为 「DOP-400SA」时，按照以下方法进行作业。
6.16.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.16.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H66817)
注意 )在 O 型圈上涂敷了润滑油。使用时请不要擦去润滑油。
01MEC-1335
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀A 4
3阀D 4
4阀盖 4
5 眼镜型密封圈 4
6 O 型密封圈 8
30MEC-0360a
1
2
4
5
3
6
MEC-NXTIIc-3.3S 6. 消耗品的更换
NXT IIc 机械手册 361
工具类
6.16.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 取下真空泵上的 2 个模组，使主开关 OFF。
2. 等待真空泵的表面温度下降到室温为止。
3. 请拆除螺丝、盖板。
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 5 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 10 Nm)
6 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 12 Nm)
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸废棉纱头 擦拭清扫用
防尘口罩 -
手套 -
油性笔 -
警告
在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热，有可能造成灼伤。
01MEC-0942a
6. 消耗品的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
362 NXT IIc 机械手册
4. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
5. 拆除螺栓 （8 根），拆除基座后侧的模组间 3、4 间的平板。
6. 拆除螺栓、模组 3 和模组 4 用的空气气缸。空气气缸请放在不妨碍从基座上拆除真空泵
作业的位置上。
01MEC-0960S
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01MEC-0778S
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01MEC-0961S
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