NXT-IIc 机械手册.pdf - 第485页

7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 460 NXT IIc 机械手册 5. 请安装定位治具到最右侧的电缆托 架承座的前后 2 处。此时，将治具抵住电 缆托架承座 后用螺栓固定。 6. 请拆除螺栓 （3 个）后拆除电缆托架承座。 7. 请拆除连接在真空泵控制箱的支架 的接插件 (MSICN1，M SICN2，MSICN3)。 8. 拆除固定真空泵的螺丝，请向左方 向移动泵。( 详细请参照 「6.16 4M-2c 基座用泵的损…

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MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 459
7.14.2 4M-2c 基座的更换方法
1. 请拆除真空泵上的 2 个模组，将主电源开关 OFF。
2. 拆下螺丝，取下盖板。
3. 请拆除螺栓 （10 根），取下基座后侧的模组 3，4 之间的平板。
4. 请准备附属品的电缆托架承座的定位治具 （2 个）。
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7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
460 NXT IIc 机械手册
5. 请安装定位治具到最右侧的电缆托架承座的前后 2 处。此时，将治具抵住电缆托架承座
后用螺栓固定。
6. 请拆除螺栓 （3 个）后拆除电缆托架承座。
7. 请拆除连接在真空泵控制箱的支架的接插件 (MSICN1，MSICN2，MSICN3)。
8. 拆除固定真空泵的螺丝，请向左方向移动泵。( 详细请参照 「6.16 4M-2c 基座用泵的损
耗品 <DOP-400SA>」。)
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MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 461
9. 请拆除螺丝 (2 个 )，取下真空泵控制箱。
10.请以与拆除相反的步骤安装新的真空控制箱到基座上。
11.请按压电缆托架承座抵住定位治具，用螺栓固定。
12.请拆除定位治具，安装平板和盖板。
7.14.3 2M-2c 基座的更换方法
1. 请拆除基座上所有的模组，将主电源开关 OFF。
2. 拆下螺丝，取下盖板。
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