NXT-IIc 机械手册.pdf - 第627页
9. 调整 MEC-NXTIIc-3.3S 602 NXT IIc 机械手册 9.3 模组真空传感器的灵敏度调整 1. 请向前方拉出要调整的模组。 (请参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」 。 ) 2. 真空传感器配置在左侧面的开口部 。要调整的模组在基座的左端,而模组的左侧带有盖 板时,为了腾出传感器附近的空间 ,请拆除侧盖板。 3. 使用精密的一字型螺丝刀,将 MODE 开关变更到 “S1”。 4. 用螺丝刀调节 SET1 开关,…

MEC-NXTIIc-3.3S 9. 调整
NXT IIc 机械手册 601
1. 将要调整的模组向前方拉出。(请参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」。)
2. 打开调节的传感器放大器的盖罩。
3. 请把输入模式设定为 「L-on」(避光时 OFF)。
请按下按键 (1),在 5 秒之内按下按键 (2)。
4. 其次进行灵敏度的设定。
连续按下MODE按键(3)3秒左右,再按1次MODE按键(3)后进入灵敏度设定画面。
5. 显示 「Std」的时候,按 1 次箭头键 (无论在哪一边)后,切换到 「% 调整」。显示
「SEtP」的时候,没有必要进行此操作。
6. 按 1 次 MODE 按键。
7. 按箭头键,设定数值为 「-4P」。
8. 持续按 MODE 按键 3 秒后决定。
9. 关闭传感器放大器的盖罩,将模组插入原来的位置。(请参考 「4.1 模组的拉出 / 插
入」。)
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9. 调整 MEC-NXTIIc-3.3S
602 NXT IIc 机械手册
9.3 模组真空传感器的灵敏度调整
1. 请向前方拉出要调整的模组。(请参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」。)
2. 真空传感器配置在左侧面的开口部。要调整的模组在基座的左端,而模组的左侧带有盖
板时,为了腾出传感器附近的空间,请拆除侧盖板。
3. 使用精密的一字型螺丝刀,将 MODE 开关变更到 “S1”。
4. 用螺丝刀调节 SET1 开关,使显示值为 -59。
备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示,调整 SET1 或 SET2 开关后即使不显示开关的数
值,调整值也会变更。
5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。
6. 用螺丝刀调节 SET2 开关,使显示值为 0.0。
7. 为了显示出当前的真空压,将 MODE 开关调回到 “ME”。
备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时,在显示开关值后,务必正确地调整开关值。
8. 在取下侧面盖罩时,先把盖罩盖上,再把模组插入原来的位置。(请参考 「4.1 模组的
拉出/插入」。)
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MEC-NXTIIc-3.3S 9. 调整
NXT IIc 机械手册 603
9.4 模组压力传感器的灵敏度调整
1. 请向前方拉出要调整的模组。(请参考 「4.1 模组的拉出 / 插入」。)
2. 模组压力传感器配置在左侧面的开口部。要调整的模组在基座的左端,而模组的左侧带
有盖板时,为了腾出传感器附近的空间,请拆除侧盖板。
3. 使用精密的一字型螺丝刀,将 MODE 开关变更到 “S1”。
4. 用螺丝刀调节 SET1 开关,使显示值为 0.40。
备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示,调整 SET1 或 SET2 开关后即使不显示开关的数
值,调整值也会变更。
5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。
6. 用螺丝刀调节 SET2 开关,使显示值为 0.0。
7. 为了显示出现在的真空压,将 MODE 开关调回到 “ME”。
备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时,在显示开关值后,务必正确地调整开关值。
8. 在取下侧面盖罩时,先把盖罩盖上,再把模组插入原来的位置。(请参考 「4.1 模组的
拉出/插入」。)
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