NXT-IIc 机械手册.pdf - 第180页
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养 NXT IIc 机械手册 155 料盘单元 - LT 料站、接插头 ● - - - - - - - 1 搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5 往复臂皮带 - - ● - - - - - 5 TZ1/TZ2 轴 滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10 升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10 TZ1/TZ2 轴 皮带张力 - - - - - - ■ - 10 TY…
5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
154 NXT IIc 机械手册
XY 机械手
〈M3-2c〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-2c〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 1
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
废料带处理
单元
导轨 - - - - - - ★ - 20
切刀 - - - - - - - ● *13 20
输送槽 - - - - - - - ● *14 15
刷子 - - - - - - - ▲ *15 20
主体 模组内部 ● - - - - - - - 2
基座 · 模组支持面 - - - ★ - - - - 5
空气调节器 - - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - - ● - 15
排出元件搬
运轨道
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 155
料盘单元 -
LT
料站、接插头 ● - - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - - - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面贴片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *4 5
料盘单元 -
LTC
料站、接插头 ● - - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - - - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面贴片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *4 5
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
156 NXT IIc 机械手册
*4: 每吸取 150,000 次或者吸取异常时
*5:每2～3周，或者吸取异常时
*6: 发生维修保养报警时，或者表面薄膜的流动不顺畅时
*7: 夹紧异常时
*8: 吸嘴真空压异常时或者污垢严重时
*9: 搬运异常时
*10: 支撑销的污垢残留在电路板上时
*11: 电路板夹紧异常时
*12: 变更搬运轨道宽度异常时
*13: 切刀动作异常时
*14: 送料不良时
*15: 切断的薄膜粘附在输送槽内时
*16: 动作异常时
*17: 如果发生影像处理错误 , 有时即使清洁镜面也不会改善
料盘单元 -M 往复臂皮带 - - - - ● - - - 5
料盘箱皮带 - - - - ● - - - 10
TY 轴离合器 - - - - - - ★ - 10
料盘定位销 - - - - - - ★ - -
料盘定位销驱动轴 - - - - - - ★ - -
TZ 轴皮带张力 （料盘箱升降
部）
------■- 10
TZ 轴皮带张力 （料盘箱升降
部）
------■- 10
TY 轴皮带张力 （离合器部） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
PCU-2( 托架
更换台车 )
PCU-2c 架的运动部 - - - - - - - ★
*16
10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )