NXT-IIc 机械手册.pdf - 第250页
MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养 NXT IIc 机械手册 225 5.10.2 真空泵过滤器的清扫 1. 请拆除模组。 (详细参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」 ) 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 从基座上拆除盖板。 4. 请将真空配管内设定为大气压。 5. 2M-2c 基座的时候,请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯 。 a. 松开过滤器外壳下部的螺栓,从本 体拆除过滤器外壳。 b. 从本体拆除过滤器滤芯。 6.…

5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
224 NXT IIc 机械手册
5.10 每 12000 小时的操作
5.10.1 湿气分离器的清扫
1. 请拆除废料带箱 , 拉出模组。(参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」)
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 请转动供应空气用的手柄,停止外部供应空气。
4. 请拔出空气软管,放松供应空气用手柄。排出管子内的空气。
5. 松开固定在基座上支架的固定螺栓,拆除过滤器调节器和滤芯 Assy。
6. 拧下安装螺栓,拆除滤芯 Assy。
7. 使用压缩空气吹气清扫滤芯,污垢严重时,请更换新的部品。
备注 )在安装滤芯 Assy 时,请将有孔的面向上安装。
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MEC-NXTIIc-3.3S 5. 预防保养
NXT IIc 机械手册 225
5.10.2 真空泵过滤器的清扫
1. 请拆除模组。(详细参考 「4.2 模组的拆除 / 安装 」)
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 从基座上拆除盖板。
4. 请将真空配管内设定为大气压。
5. 2M-2c 基座的时候,请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯。
a. 松开过滤器外壳下部的螺栓,从本体拆除过滤器外壳。
b. 从本体拆除过滤器滤芯。
6. 4M-2c 基座的时候,请按照以下的步骤拆除过滤器滤芯。
警告
更换作业请必须在切断机器主电源后进行。
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5. 预防保养 MEC-NXTIIc-3.3S
226 NXT IIc 机械手册
a. 向下压过滤器外壳的锁定扳手,旋转过滤器外壳后取下。
b. 旋转过滤器外壳,拆除过滤器滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器外壳。
8. 使用压缩空气吹气清扫滤芯,污垢严重时,请更换新的部品。
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