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3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S 70 NXT IIc 机械手册 3.11 检测电路板高度传感器 No. 地址 信号名 1 RY00 C 电路板高度传感器 _ 零位移 2 RY00 D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止 01MEC-1241S 2 1 2 1 3+Ֆಞ

MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 69
3.10 混合校正单元传感器
备注 )插图是双搬运轨道。单搬运轨道传感器的时候也同样配置传感器。
No. 地址 信号名
1 RX00C 确认混合校正吸取
2 RY006 混合校正吸取真空 ON
3 RY007 混合校正吸取真空 OFF
2
1
3
01MEC-0829Sa
<M6-2cঠᨀ䖤䔼䘧>
2
1
3
<M3-2cঠᨀ䖤䔼䘧>

3. 传感器配置图 MEC-NXTIIc-3.3S
70 NXT IIc 机械手册
3.11 检测电路板高度传感器
No. 地址 信号名
1 RY00C 电路板高度传感器 _ 零位移
2 RY00D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
01MEC-1241S
2
1
2
1
3+Ֆಞ

MEC-NXTIIc-3.3S 3. 传感器配置图
NXT IIc 机械手册 71
3.12 料盘单元 -LT 传感器
3.12.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 紧急停止 SW
2 IN06 确认上部料盘箱安全门关闭
3 IN07 确认下部料盘箱安全门关闭
No. 机器侧
地址
信号名
4 X206 上部料盘箱结束 PB 输入
5 X209 下部料盘箱结束 PB 输入
01MEC-1300
2
1
3
4
5