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7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S 464 NXT IIc 机械手册 10.请以与拆除新的真空泵控制箱相 反的步骤安装到基座上。 11.请一边向后方按压基座前侧的平 板,一边用螺栓固定。 12.请按压电缆托架承座抵 住定位治具,用螺栓固定。 13.请拆除定位治具 (2 处) 。 14.请安装基座后侧的 平板和盖板。 01M E C - 09 54S ᑇᵓ ᇚᑇᵓय़ԣ䖭Ͼ䴶

MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 463
7. 请拆除螺栓 (7 个),基座前侧的平板。
8. 请拆除连接在真空泵控制箱的支架的接插件 (MSICN1,MSICN2,MSICN3)。
9. 请拆除 1 根螺栓,另外 1 根螺栓处于松动的状态下,拆除真空泵控制箱。
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7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
464 NXT IIc 机械手册
10.请以与拆除新的真空泵控制箱相反的步骤安装到基座上。
11.请一边向后方按压基座前侧的平板,一边用螺栓固定。
12.请按压电缆托架承座抵住定位治具,用螺栓固定。
13.请拆除定位治具 (2 处)。
14.请安装基座后侧的平板和盖板。
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MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 465
7.15 料站基座 DC 电源的更换
更换料站基座 DC 电源时,请预先拆除料站托架。
7.15.1 必须工具
十字螺丝刀、六角扳手套件
7.15.2 M3-2c 模组的时候
1. 将主电源开关 OFF。
2. 拆下螺丝 (3 根 ),从料站基座上拆下 DC 电源盖罩。
3. 取下连接在 DC 电源上的插座。
警告
·在进行更换操作时,请务必在切断电源后进行。
注意
·连接电缆的插接,请握住插头不要拉电缆。
·在连接插头时,请确认插头名称注意不要错误。
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