NXT-IIc 机械手册.pdf - 第488页
MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换 NXT IIc 机械手册 463 7. 请拆除螺栓 (7 个) ,基座前侧的平板。 8. 请拆除连接在真空泵控制箱的支架 的接插件 (MSICN1,M SICN2,MSICN3)。 9. 请拆除 1 根螺栓,另外 1 根螺栓处于松动的状态下,拆除真空泵控制箱。 01M E C - 09 5 1 S ᑇᵓ 01MEC-09 5 2 01MEC-09 5 3

7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
462 NXT IIc 机械手册
3. 请拆除螺栓 (10 根),取下基座后侧的模组 3,4 之间的平板。
4. 请准备附属品的电缆托架承座的定位治具 (2 个)。
5. 请安装定位治具到最右侧的电缆托架承座的前后 2 处。此时,将治具抵住电缆托架承座
后用螺栓固定。
6. 请拆除螺栓 (3 个)后拆除电缆托架承座。
01MEC-0949S
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01MEC-0943
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MEC-NXTIIc-3.3S 7. 部件的更换
NXT IIc 机械手册 463
7. 请拆除螺栓 (7 个),基座前侧的平板。
8. 请拆除连接在真空泵控制箱的支架的接插件 (MSICN1,MSICN2,MSICN3)。
9. 请拆除 1 根螺栓,另外 1 根螺栓处于松动的状态下,拆除真空泵控制箱。
01MEC-0951S
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01MEC-0952
01MEC-0953

7. 部件的更换 MEC-NXTIIc-3.3S
464 NXT IIc 机械手册
10.请以与拆除新的真空泵控制箱相反的步骤安装到基座上。
11.请一边向后方按压基座前侧的平板,一边用螺栓固定。
12.请按压电缆托架承座抵住定位治具,用螺栓固定。
13.请拆除定位治具 (2 处)。
14.请安装基座后侧的平板和盖板。
01MEC-0954S
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