NPM-TT2 维修保养.pdf - 第166页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-06M-00 6-5 -1 基板 / 延长传送带 ( 选购件 ) 的检查 1 维修保养篇 6-5 1 2 将传送带宽度调 整为 150 mm( 为 了更有利于操作 ) ( → 『操作篇』 P.2-5-4) 5 对基板传送带的检查方法进行说明。 使用工具 : 皮带张力 计 所需时间 :15 分钟 3 基板传送皮带的检查 安装托盘供料器或 者交换台车 ●托盘供料器时 ( → P.14-8 ) ●交换台车…
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装上新的吸着垫圈
清扫吸嘴交换器上面
●请勿在和吸嘴反射板的接触
面上留下灰尘。
●请确认挡板和吸嘴交换器的
空隙间没有夹住灰尘等异物。
吸嘴交换器
棉纱布
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取下有破损的吸着垫圈
●为了稳定吸着元件，有的吸嘴有吸着垫圈。
当吸着垫圈有破损或裂纹时，请更换吸嘴垫圈或者吸嘴本体。
(1004吸嘴、1005吸嘴等)
每
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小
时
保
养
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检
查
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6-5-1
基板/延长传送带(选购件)
的检查 1
维修保养篇
6-5
1
2
将传送带宽度调
整为150 mm(为
了更有利于操作)
(→『操作篇』P.2-5-4)
5
对基板传送带的检查方法进行说明。
使用工具:皮带张力计 所需时间:15分钟
3
基板传送皮带的检查
安装托盘供料器或
者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
卸下托盘供料器
或者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
把X轴往内推
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检查皮带
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起毛
就进行更换。
●各轨道上有6条。（参照下图）
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每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
皮带
(实装部)
滚轮
(实装部)
皮带
(待机部)
滚轮
(待机部)
轨道1侧
轨道2侧
滚轮
(实装部)
滚轮
(待机部)
滚轮
(待机部)
皮带
(实装部)
滚轮
(待机部)
滚轮
(待机部)
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧