NPM-TT2 维修保养.pdf - 第87页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-02 M-00 线性照相机 2-1-6 -4 玻璃盖 前后侧 13 站供给单元 切割单元 空编带箱 概 要 料架工作台 连接器
NPM-TT2 EJM1EC-MB-02M-00
概要
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
2-1-6-3
维修保养篇
2-1-6
前后侧
延长传送带
前侧
*在基板检测传感器的各轨道上，存在4
种透过类型、2个反射类型。
基板支撑块
基板检测传感器
基板传送皮带
基板传送皮带
基板检测传感器
基板传送皮带
线性导轨
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
NPM-TT2 EJM1EC-MB-02M-00
线性照相机
2-1-6-4
玻璃盖
前后侧
13站供给单元
切割单元
空编带箱
概
要
料架工作台
连接器
NPM-TT2 EJM1EC-MB-02M-00
概要
各单元定期检查部位 3
＜各类型共同点＞
2-1-6-5
维修保养篇
2-1-6
主控制器
前侧
过滤器