NPM-TT2 维修保养.pdf - 第248页

NPM- TT2 EJM1EC-MB-11 M-01 1 1-2-1 -7 模式的 切换 切换到单轨模式 4 维修保养篇 11 - 2 - 1 当前后面的某一项为交换台车规格时 2 13 14 12 15 + ( 基板支架下降 ) 确认提示 + ( 返回到轨道切换画面 ) 安装交换台车 ( → P.3-2) 15 13 14

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卸下基板支撑块
(轨道1、轨道2)
基板支撑块
拉出基板支撑块。
从操作方向上提起左右锁杆。
取出锁杆
取出锁杆
用双手向上慢慢卸下。
注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识
别照相机(LED照明上)
关闭安全盖
关闭供料器工作台盖
伺服开关置于ON
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-7
模式的
切换
切换到单轨模式 4
维修保养篇
11-2-1
当前后面的某一项为交换台车规格时 2
13
14
12
15
+
(基板支架下降)
确认提示
+
(返回到轨道切换画面)
安装交换台车
(P.3-2)
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+
(将显示电源切断信息)
主电源开关置于OFF
OFF
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