NPM-TT2 维修保养.pdf - 第35页
NPM-TT2 EJM1EC-SF-01N-02 1-2 -10 ■ Y 轴直线马达部 前侧 确 认
NPM-TT2 EJM1EC-SF-01N-02
1-2-9
C
警告标牌 5
警告标牌
■X轴直线马达部
1-2
前侧
后侧
真空泵
NPM-TT2 EJM1EC-SF-01N-02
1-2-10
■Y轴直线马达部
前侧
确
认
NPM-TT2 EJM1EC-SF-01N-02
1-2-11
C
警告标牌 6
1-2
操作员侧
■13站供给料架
警告标牌 / 注意标牌