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NPM- TT2 EJM1EC-MB-12M-02 基板传送带的 传送皮带的更换 2 维修保养篇 12-1 12-1 -3 9 ●事先拧松张力滑轮的螺丝。 ( 各 3 个 ) 张力滑轮 张力滑轮 张力滑轮 张力滑轮 ●有关皮带的正面、反面 正面 : 无印文字 反面裏面 : 有印文字 ●安装皮带时,使皮带正面为基板传 送面。 ■各轨道上 6 条 轨道 1 侧 轨道 2 侧 换上新皮带 编号 皮带长度 [mm] 型号 1050 N51006…

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12-1-2
卸下皮带
■各轨道上6条
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
顺序
9
拧松托板的螺丝,移开托板
●螺丝(6个) ●不卸下托板。
8
7
托板 托板
皮带
●往外拔,将其卸下。
●废弃时,使用钳子等切断后卸下。

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基板传送带的
传送皮带的更换 2
维修保养篇
12-1
12-1-3
9
●事先拧松张力滑轮的螺丝。(各3个)
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
张力滑轮
●有关皮带的正面、反面
正面: 无印文字
反面裏面: 有印文字
●安装皮带时,使皮带正面为基板传送面。
■各轨道上6条
轨道1侧
轨道2侧
换上新皮带
编号
皮带长度 [mm]
型号
1050 N510061306AA
1980 N510060401AA
A
B
A A
B
A A
B

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固定托板
●螺丝(6个)
托板
■从箭头方向所视图
托板
B面 A面
●把托板碰到A面的高低差,与B面保持平行进
行安装。
调整皮带张力
(→ P.6-5)
●螺丝:M4
(2个)
安装供料器工作台
盖(→P.3-3)
顺序
14
安装托盘供料器或
者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
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12
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