NPM-TT2 维修保养.pdf - 第175页

NPM- TT2 EJM1EC-MB-06M-00 3 从安全盖卸下过 滤器进行清扫 ● 使用气枪。 ● 请勿使用有机溶剂。 过滤器 4 把过滤器安装在 安全盖上 取出过滤器芯进行清扫 ① 分解过滤器单元。 ② 使用气枪，清除过滤器芯的 灰尘。 ( 请勿使用有机溶剂 ) ③ 把过滤器单元组装成原样。 5 贴装头 过滤器芯 O 型环 过滤器盒 圆环 6-7 -2 每 5 6 0 小 时 保 养 定 期 检 查 真空泵

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对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具:十字螺丝刀(No.2) 所需时间:30分钟
●作业过程中，注意不要碰撞到头。
6
真空泵过滤器的清扫
安装安全盖
6-7-1
7
维修保养篇
6-7
8
解锁
ON
1
卸下后侧的托盘供
料器或者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
2
安全盖
卸下安全盖
安装后侧的托盘供
料器或者交换台车
●托盘供料器时(→P.14-8)
●交换台车时(→P.3-2)
●螺丝(8个)
安全盖
●螺丝(8个)
后侧
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3
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
4
把过滤器安装在
安全盖上
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
5
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
6-7-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
真空泵
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对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具:不要 所需时间:2分钟
●请事先执行原点复归操作。
安全开关的检查 1
6-8-1
维修保养篇
6-8
紧急停止开关的检查
1
3
2
2
按前侧的紧急停止开关。
按后侧的紧急停止开关，并确认画面
与前侧相同地过渡到新画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
请确认画面已经过渡到左侧画面。
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