NPM-TT2 维修保养.pdf - 第247页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-11M-01 1 1-2-1 -6 更 换 8 10 11 9 卸下基板支撑块 ( 轨道 1 、轨道 2) 基板支撑块 ② 拉出基板支撑块。 ① 从操作方向上提起左右锁杆。 取出锁杆 取出锁杆 ● 用双手向上慢慢卸下。 ● 注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识 别照相机 (LE D 照明上 ) 。 关闭安全盖 关闭供料器工作台盖 伺服开关置于 ON
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-5
模式的
切换
切换到单轨模式 3
1
3
+
(轨道1、轨道2的基板支撑块上升，并
转为能够取下的状态)
(将显示取下支撑销单元的信息)
4
卸下交换台车
确认提示
2
维修保养篇
11-2-1
+
(→P.3-2)
2
确认提示
6
5
打开安全盖
7
打开供料器工作台盖
当前后面的某一项为交换台车规格时 1
切换作业在交换台车上进行。
伺服开关置于OFF
1
3
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-6
更
换
8
10
11
9
卸下基板支撑块
(轨道1、轨道2)
基板支撑块
②拉出基板支撑块。
①从操作方向上提起左右锁杆。
取出锁杆
取出锁杆
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识
别照相机(LED照明上)。
关闭安全盖
关闭供料器工作台盖
伺服开关置于ON
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-7
模式的
切换
切换到单轨模式 4
维修保养篇
11-2-1
当前后面的某一项为交换台车规格时 2
13
14
12
15
+
(基板支架下降)
确认提示
+
(返回到轨道切换画面)
安装交换台车
(→P.3-2)
15
13
14