NPM-TT2 维修保养.pdf - 第249页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-11 M-01 1 1-2-1 -8 16 + ( 将显示电源切断信息 ) 主电源开关置于 OFF 更 换 OFF 17 16
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-7
模式的
切换
切换到单轨模式 4
维修保养篇
11-2-1
当前后面的某一项为交换台车规格时 2
13
14
12
15
+
(基板支架下降)
确认提示
+
(返回到轨道切换画面)
安装交换台车
(→P.3-2)
15
13
14
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-8
16
+
(将显示电源切断信息)
主电源开关置于OFF
更
换
OFF
17
16
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-9
模式的
切换
切换到单轨模式 5
1
1
3
+
(所操作面的基板支撑块上升，并转为
能够取下的状态)
(将显示取下支撑销单元的信息)
4
卸下交换台车
确认提示
2
维修保养篇
11-2-1
+
(→P.3-2)
2
确认提示
6
5
打开安全盖
7
打开供料器工作台盖
前后面交换台车规格时 1
伺服开关置于OFF
3