NPM-TT2 维修保养.pdf - 第246页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-11 M-01 1 1-2-1 -5 模式的 切换 切换到单轨模式 3 1 3 + ( 轨道 1 、轨道 2 的基板支撑 块上升，并 转为能够取下的状态 ) ( 将显示取下支撑销单元的信息 ) 4 卸下交换台车 确认提示 2 维修保养篇 11 - 2 - 1 + ( → P.3-2) 2 确认提示 6 5 打开安全盖 7 打开供料器工作台盖 当前后面的某一项为交换台车规格时 1 切换作业在交换台车上…
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-4
更
换
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-5
模式的
切换
切换到单轨模式 3
1
3
+
(轨道1、轨道2的基板支撑块上升，并
转为能够取下的状态)
(将显示取下支撑销单元的信息)
4
卸下交换台车
确认提示
2
维修保养篇
11-2-1
+
(→P.3-2)
2
确认提示
6
5
打开安全盖
7
打开供料器工作台盖
当前后面的某一项为交换台车规格时 1
切换作业在交换台车上进行。
伺服开关置于OFF
1
3
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-6
更
换
8
10
11
9
卸下基板支撑块
(轨道1、轨道2)
基板支撑块
②拉出基板支撑块。
①从操作方向上提起左右锁杆。
取出锁杆
取出锁杆
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识
别照相机(LED照明上)。
关闭安全盖
关闭供料器工作台盖
伺服开关置于ON