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NPM- TT2 EJM1EC-MB-02 M-00 概要 基板传送带 各单元定期检查部位 2 ＜各类型共同点＞ 2-1-6 -3 维修保养篇 2-1-6 前后侧 延长传送带 前侧 * 在基板检测传感器的各轨道上，存在 4 种透过类型、 2 个反射类型。 基板支撑块 基板检测传感器 基板传送皮带 基板传送皮带 基板检测传感器 基板传送皮带 线性导轨 滚珠花键 宽度调整滚珠丝杠