NPM-TT2 维修保养.pdf - 第251页
NPM- TT2 EJM1EC-MB-11M-01 1 1-2-1 -10 更 换 8 10 11 9 卸下基板支撑块 ( 轨道 1 、轨道 2) 基板支撑块 ② 拉出基板支撑块。 ① 从操作方向上提起左右锁杆。 取出锁杆 取出锁杆 ● 用双手向上慢慢卸下。 ● 注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识 别照相机 (LE D 照明上 ) 。 关闭安全盖 关闭供料器工作台盖 伺服开关置于 ON
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-9
模式的
切换
切换到单轨模式 5
1
1
3
+
(所操作面的基板支撑块上升，并转为
能够取下的状态)
(将显示取下支撑销单元的信息)
4
卸下交换台车
确认提示
2
维修保养篇
11-2-1
+
(→P.3-2)
2
确认提示
6
5
打开安全盖
7
打开供料器工作台盖
前后面交换台车规格时 1
伺服开关置于OFF
3
NPM-TT2 EJM1EC-MB-11M-01
11-2-1-10
更
换
8
10
11
9
卸下基板支撑块
(轨道1、轨道2)
基板支撑块
②拉出基板支撑块。
①从操作方向上提起左右锁杆。
取出锁杆
取出锁杆
●用双手向上慢慢卸下。
●注意不要碰撞或把垃圾掉到多功能识
别照相机(LED照明上)。
关闭安全盖
关闭供料器工作台盖
伺服开关置于ON
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11-2-1-11
模式的
切换
切换到单轨模式 6
维修保养篇
11-2-1
前后面交换台车规格时 2
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+
(基板支架下降)
确认提示
+
(返回到轨道切换画面)
安装交换台车
(→P.3-2)
从另一侧起，按照 ～ 的
步骤取消基板支撑块
1 14
16
13
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