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6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR 1/19 6.2.1. M3S- ダブルコンベア 1/19 UQ01262 No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks 番号 図番 & コード番号 個 数 品名 規格 材質 備考 1 AA24H08 1 PLATE, BACKUP プレート バックアップ OT 2 AA23H09 1…

28 2710
9
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26
25
For the FRONT
For the REAR
OUT SIDE
IN SIDE
OUT SIDE
IN SIDE
A
B
B
A
Vacuum back-up pins
Reference from
FRONT
Reference from
REAR
4
4
514
( )
32 33
25
26
1
3
6
14
1112
2
6
6
6
8
6
6
B ( )
A
( )
8
8
6
6
6
FOR THE REAR SIDE CLAMPING
A:Clamp (lifter UP)
B:Unclamp (lifter DOWN)
FOR THE FRONT SIDE CLAMPING
From module head
NEGATIVE PRESSURE
POSITIVE PRESSURE
Vacuum system
13
A
2/19
8/19
6/19
4/19
19/19
18/19
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5/19
3/19
10/19
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15/19
9/19
11/19
13/19
7/19
12/19
BACK-UP PIN
AA
AA
BB
BB
C
D
D
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2
3
3
4
45
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6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR 1/19
6.2.1. M3S-ダブルコンベア 1/19 UQ01262
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Materials Remarks
番号 図番 & コード番号 個数 品名 規格 材質 備考
1 AA24H08 1 PLATE, BACKUP プレート バックアップ OT
2 AA23H09 1 FRAME フレーム OT
3 AA35A02 2 SCREW ネジ OT
4 PM66084 1 PLATE, BACKUP プレート バックアップ FE
45 AA6WL03 8 PIN, BACKUP
ピ
ン バックアッ
プ
OT
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A
22
24
21
32
25
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