PTS-NXT-10JE.pdf - 第604页
5. XY-ROBOT 5. ＸＹロボット 5.1. X SLIDE 5.1. X- スライド 5.1.1. M3S-X SLIDE ……………………………………………………………… … 306 5.1.1. M3S-X スライド………………………………………………… … 306 5.1.2. M6S-X SLIDE ……………………………………………………………… … 318 5.1.2. M6S-X スライド…………………………………
2. VISION SYSTEM 2. 画像処理
2.1. PARTS CAMERA………………………………………………………………………
…
130 2.1. パーツカメラ………………………………………………………………
…
130
2.2. PARTS CAMERA LIGHT………………………………………………………………
…
132 2.2. パーツカメラライト………………………………………………………
…
132
2.3. MARK CAMERA…………………………………………………………………………
…
134 2.3. マークカメラ………………………………………………………………
…
134
2.4. MARK CAMERA LIGHT…………………………………………………………………
…
136 2.4. マークカメラライト………………………………………………………
…
136
2.5. PARTS CAMERA(SIDE LIGHT TYPE)…………………………………………………
…
138 2.5. パーツカメラ(サイドライト仕様)………………………………………
…
138
2.6. PARTS CAMERA LIGHT(SIDE LIGHT TYPE)…………………………………………
…
140 2.6. パーツカメラライト(サイドライト仕様)………………………………
…
140
2.7. PARTS CAMERA(HIGH RESOLUTION CAMERA)…………………………………………
…
142 2.7. パーツカメラ(高分解能カメラ)…………………………………………
…
142
2.8. PARTS CAMERA LIGHT(HIGH RESOLUTION CAMERA)…………………………………
…
144 2.8. パーツカメラライト(高分解能カメラ)…………………………………
…
144
3. BASE 3. ベース
3.1. BASE 3.1. ベース
3.1.1. 2M-BASE……………………………………………………………………
…
146 3.1.1. 2M-ベース………………………………………………………
…
146
3.1.2. 2M-BASE CONTROL BOX……………………………………………………
…
176 3.1.2. 2M-ベース- コントロール BOX………………………………
…
176
3.1.3. 4M-BASE……………………………………………………………………
…
186 3.1.3. 4M-ベース………………………………………………………
…
186
3.2. EXTERNAL VACUUM PUMP……………………………………………………………
…
228 3.2. 増設バキュームポンプ……………………………………………………
…
228
3.3. BASE LINKING PARTS………………………………………………………………
…
230 3.3. ベース連結部品……………………………………………………………
…
230
4. MODULE 4. モジュール
4.1. BED 4.1. ベッド
4.1.1. M3S-BED……………………………………………………………………
…
232 4.1.1. M3S-ベッド………………………………………………………
…
232
4.1.2. M6S-BED……………………………………………………………………
…
256 4.1.2. M6S-ベッド………………………………………………………
…
256
4.2. COVER 4.2. カバー
4.2.1. M3S-TOP COVER……………………………………………………………
…
280 4.2.1. M3S-トップカバー………………………………………………
…
280
4.2.2. M6S-TOP COVER……………………………………………………………
…
284 4.2.2. M6S-トップカバー………………………………………………
…
284
4.2.3. SIDE COVER-RIGHT………………………………………………………… 288 4.2.3. サイドカバー右…………………………………………………
…
288
4.2.4. SIDE COVER-LEFT…………………………………………………………
…
292 4.2.4. サイドカバー左…………………………………………………
…
292
4.2.5. SEAMLESS COVER-BETWEEN BASE…………………………………………
…
296 4.2.5. シームレスカバー ベース間…………………………………
…
296
4.2.6. SEAMLESS COVER-BETWEEN MODULE………………………………………
…
300 4.2.6. シームレスカバー モジュール間……………………………
…
300
4.2.7. SEAMLESS COVER-MODULE RIGHT SIDE…………………………………… 302 4.2.7. シームレスカバー モジュール右側…………………………
…
302
4.2.8. SEAMLESS COVER-MODULE LEFT SIDE……………………………………
…
304 4.2.8. シームレスカバー モジュール左側…………………………
…
304
5. XY-ROBOT 5. ＸＹロボット
5.1. X SLIDE 5.1. X-スライド
5.1.1. M3S-X SLIDE………………………………………………………………
…
306 5.1.1. M3S-Xスライド…………………………………………………
…
306
5.1.2. M6S-X SLIDE………………………………………………………………
…
318 5.1.2. M6S-Xスライド…………………………………………………
…
318
5.2. Y SLIDE 5.2. Y-スライド
5.2.1. M3S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
326 5.2.1. M3S-Yスライド…………………………………………………
…
326
5.2.2. M6S-Y SLIDE………………………………………………………………
…
334 5.2.2. M6S-Yスライド…………………………………………………
…
334
ＣＯＮＴＥＮＴＳ 目次
6. CONVEYOR 6. コンベア
6.1. SINGLE CONVEYOR 6.1. シングルコンベア
6.1.1. M3S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
16 6.1.1. M3S-シングルコンベア…………………………………………
…
16
6.1.2. M6S-SINGLE CONVEYOR……………………………………………………
…
54 6.1.2. M6S-シングルコンベア…………………………………………
…
54
6.1.3. M6S-SINGLE CONVEYOR S…………………………………………………
…
94 6.1.3. M6S-シングルコンベア S………………………………………
…
94
6.2. DOUBLE CONVEYOR 6.2. ダブルコンベア
6.2.1. M3S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
118 6.2.1. M3S-ダブルコンベア……………………………………………
…
118
6.2.2. M6S-DOUBLE CONVEYOR……………………………………………………
…
180 6.2.2. M6S-ダブルコンベア……………………………………………
…
180
6.3. BACK-UP PINS 6.3. バックアップピン
6.3.1. M3S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
222 6.3.1. M3S-自動バックアップピン……………………………………
…
222
6.3.2. M6S-AUTO BACK-UP PINS…………………………………………………
…
224 6.3.2. M6S-自動バックアップピン……………………………………
…
224
6.3.3. M6S-AUTO BACK-UP PINS(SINGLE CONVEYOR S)………………………… 226 6.3.3. M6S-自動バックアップピン(シングルコンベア S)…………
…
226
6.3.4. SOFT BACK-UP PINS………………………………………………………
…
228 6.3.4. ソフトバックアップピン………………………………………
…
228
6.4. BACK-UP PLATE 6.4. バックアッププレート
6.4.1. M3S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
230 6.4.1. M3S-バックアッププレート……………………………………
…
230
6.4.2. M6S-BACK UP PLATE………………………………………………………
…
234 6.4.2. M6S-バックアッププレート……………………………………
…
234
6.5. PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION 6.5. 基板停止位置補正機能
6.5.1. M3S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION…………………………… 236 6.5.1. M3S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
236
6.5.2. M6S-PANEL POSITION CORRECTION FUNCTION…………………………… 238 6.5.2. M6S-基板停止位置補正機能……………………………………
…
238
6.6. ROLLER CONVEYOR 6.6. ローラ搬送コンベア
6.6.1. M3S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)……………………………… 240 6.6.1. M3S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
240
6.6.2. M3S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)……………………………… 242 6.6.2. M3S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
242
6.6.3. M6S-ROLLER CONVEYOR(SINGLE CONVEYOR)……………………………… 244 6.6.3. M6S-ローラ搬送コンベア(シングルコンベア)………………
…
244
6.6.4. M6S-ROLLER CONVEYOR(DOUBLE CONVEYOR)……………………………… 246 6.6.4. M6S-ローラ搬送コンベア(ダブルコンベア)…………………
…
246