3OM-GXH-1使用说明书.pdf - 第272页
6 - 47 0603 - 001 2.1 补正值数据 在各照相机设定以下补正值。 [1] 元件识别照相机 X( 横 )、Y( 纵 )［毫米］ 调整对装置基准坐标系原点到元件识别照相机中心的设计尺寸的 位置偏离。 Xm(+) Ym (+) Xc(+) Yc(+) Xc(+) Yc(+) Fig.3F39 Xm-Ym: 装置基准坐标系 Xc-Yc: 元件识别照相机坐标系 元件识别照相机中心 Pm. 装置基准坐标原点 元件识别照相机中心
6-460603-001
2.1 补正值数据
2.1.22 元件识别补正值
在“补正值数据”选项卡中 , 按 [ 元件识别 ]Tab, 再按 [ 照相机 1]Tab,
显示以下选项卡。
Note
[ 照相机 2] 到 [ 照相机 4] 也显示相同界面。
Fig.3F38-1 “元件识别照相机 1”选项卡 (1)
Fig.3F38-2 “元件识别照相机 1”选项卡 (2)
[1]
[3]
[2]
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2.1 补正值数据
在各照相机设定以下补正值。
[1] 元件识别照相机
X( 横 )、Y( 纵 )［毫米］
调整对装置基准坐标系原点到元件识别照相机中心的设计尺寸的
位置偏离。
Xm(+)
Ym (+)
Xc(+)
Yc(+)
Xc(+)
Yc(+)
Fig.3F39
Xm-Ym: 装置基准坐标系
Xc-Yc: 元件识别照相机坐标系
元件识别照相机中心
Pm. 装置基准坐标原点
元件识别照相机中心
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2.1 补正值数据
Z( 角度 )［度］
设定对装置基准 XY 坐标 (Xm-Ym 坐标 ) 的元件识别照相机扫描坐
标的角度偏离。以装置基准 XY 坐标系为基准 , 元件识别照相机扫
描坐标往逆时针方向倾斜时 , 补正值数据的符号为“+”。
Xm(+)
Ym(+)
Xc(+)
Yc(+)
Xc(+)
Yc(+)
Fig.3F40
倍率 X( 横 )、Y( 纵 )［0.01 微米 / 像素］
是设定元件识别照相机倍率的数据 , 用来设定 1 像素相当于多少
微米。
该补正值在倍率测定用治具的教示操作下自动被算出。
•
初始值 :6060
Xm-Ym: 装置基准坐标系
Xc-Yc: 元件识别照相机坐标系
元件识别照相机中心
Pm. 装置基准坐标原点
元件识别照相机角度
元件识别照相机角度
元件识别照相机