3OM-GXH-1使用说明书.pdf - 第273页
6 - 48 0603 - 001 2.1 补正值数据 Z( 角度 )［度］ 设定对装置基准 XY 坐标 (Xm-Ym 坐标 ) 的元件识别照相机扫描坐 标的角度偏离。以装置基准 XY 坐标系为基准 , 元件识别照相机扫 描坐标往逆时针方向倾斜时 , 补正值数据的符号为“+” 。 Xm(+) Ym(+) Xc(+) Yc(+) Xc(+) Yc(+) Fig.3F40 倍率 X( 横 )、Y( 纵 )［0.01 微米 / 像素］ 是设定…
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2.1 补正值数据
在各照相机设定以下补正值。
[1] 元件识别照相机
X( 横 )、Y( 纵 )［毫米］
调整对装置基准坐标系原点到元件识别照相机中心的设计尺寸的
位置偏离。
Xm(+)
Ym (+)
Xc(+)
Yc(+)
Xc(+)
Yc(+)
Fig.3F39
Xm-Ym: 装置基准坐标系
Xc-Yc: 元件识别照相机坐标系
元件识别照相机中心
Pm. 装置基准坐标原点
元件识别照相机中心
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2.1 补正值数据
Z( 角度 )［度］
设定对装置基准 XY 坐标 (Xm-Ym 坐标 ) 的元件识别照相机扫描坐
标的角度偏离。以装置基准 XY 坐标系为基准 , 元件识别照相机扫
描坐标往逆时针方向倾斜时 , 补正值数据的符号为“+”。
Xm(+)
Ym(+)
Xc(+)
Yc(+)
Xc(+)
Yc(+)
Fig.3F40
倍率 X( 横 )、Y( 纵 )［0.01 微米 / 像素］
是设定元件识别照相机倍率的数据 , 用来设定 1 像素相当于多少
微米。
该补正值在倍率测定用治具的教示操作下自动被算出。
•
初始值 :6060
Xm-Ym: 装置基准坐标系
Xc-Yc: 元件识别照相机坐标系
元件识别照相机中心
Pm. 装置基准坐标原点
元件识别照相机角度
元件识别照相机角度
元件识别照相机
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2.1 补正值数据
对比度、亮度
调整元件识别照相机拍摄的图像的亮度。
•
初始值
对比度 :102
亮度 :128
Note
(a) 增加对比度值
，
色彩效果好。
(b) 增加亮度值
，
整体变亮。
[2] 元件识别照明辉度
透过、反射 1( 环状 下 )、反射 2( 同轴 )、反射 3( 环状 上 )
反射 1
+
2( 环状 下
+
同轴 )、反射 1
+
3( 环状 下
+
环状 上 )、反
射 2
+
3( 同轴
+
环状 上 )、反射 1
+
2
+
3( 环状 下
+
同轴
+
环状 上 )
设定元件识别照明的辉度值。
•
初始值
透过 :128
反射 1( 环状 下 ) :160
反射 2( 同轴 ) :160
反射 3( 环状 上 ) :128
反射 1
+
2( 环状 下
+
同轴 ) :160
反射 1
+
3( 环状 下
+
环状 上 ) :0
反射 2
+
3( 同轴
+
环状 上 ) :160
反射 1
+
2
+
3( 环状 下
+
同轴
+
环状 上 ) :0
［3］ Fly 识别
X ( 横 )、Y ( 纵 )［毫米］
在元件识别照相机上求出停止摄像时与快速识别摄像时的偏离量
( 主要伺服放大器和闪控的延迟时间与因图像模糊的影响 )，调整
摄像定时的偏离。为了不让元件受延迟的影响而从视野消失的数
据。