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R e v 2 . 0 0 动作说明书 5- 20 ⑥ＬＥＤ 显示灯的意义如下。 VR8 CN8 ＬＤ１： 未定義 ＬＤ２：ＸＹ移動可能Ｚ高 さ確認用（点灯で可能） ＬＤ３：ノズル１減速セン サ 確認用（点灯で検知 ） ＬＤ４：ノズル２減速セン サ 確認用（点灯で検知 ） ＬＤ５：ノズル３減速セン サ 確認用（点灯で検知 ） ＬＤ６：ノズル４減速セン サ 確認用（点灯で検知 ） ＬＤ７：ノズル５減速セン サ 確認用（点灯で検知 ） 未定…
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5-
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⑤真空值的换算
Ａ／Ｄ变换的值换算成真空值的方法如下。
５Ｖ
１Ｖ
０
１９０
－７６０レベル
＊ Ａ／Ｄの読込み値Ｄｐに対する、バキューム値Ｐの算出方法
Ｐ＝－（（Ｄｐ－５１）×７６０／２０４ ）［レベル］
０～５Ｖ －－－→ ０～２５５（ＦＦｈ）
１～５Ｖ －－－→ ５２～２５５＝２０４
０～－７６０レベル －－－→ ５２～２５５
最小分解能＝７６０／２０４≒３．７２５［レベル］
等 级
等 级
等 级
最小分辨率
等 级
对
A/ D
读 取 值
Dp
计 算真空值
P
的 计 算方法
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20
⑥ＬＥＤ显示灯的意义如下。
VR8
CN8
ＬＤ１：
未定義
ＬＤ２：ＸＹ移動可能Ｚ高
さ確認用（点灯で可能）
ＬＤ３：ノズル１減速センサ
確認用（点灯で検知）
ＬＤ４：ノズル２減速センサ
確認用（点灯で検知）
ＬＤ５：ノズル３減速センサ
確認用（点灯で検知）
ＬＤ６：ノズル４減速センサ
確認用（点灯で検知）
ＬＤ７：ノズル５減速センサ
確認用（点灯で検知）
未定义
确 认 用
XY可以移动 Z高度( 亮灯可能)
确 认 用吸嘴1减速传 感器( 亮灯检测)
确 认 用吸嘴2减速传 感器( 亮灯检测)
确 认 用吸嘴3减速传 感器( 亮灯检测)
确 认 用吸嘴4减速传 感器( 亮灯检测)
确 认 用吸嘴5减速传 感器( 亮灯检测)
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5-1-9 操作基板（４０００１９５２）
（１）包括背面安装的操作ＳＷ基板的各开关
（起动、停止等）的状态读取（Ｒ）和ＬＥＤ（ＯＲＩＧＩＮ，
伺服）的亮灯和灭灯（Ｗ）。
（２）向ＳＡＦＥＴＹ基板通知护罩开放开关状态、伺服开关的状态、紧急开关等状态
（３）进行ＨＯＤ信号中转。