CX-1_动作说明书.pdf - 第23页

R e v 2 . 0 0 动作说明书 3- 11 3-2-3 基板传送同步时间图 基板传送时间图例示。 1) 传送速度 高速、 BU 台上升速度 高速 IN传感器 100ms 100ms 100ms 400ms 400ms (20mm) (1.5mm + 19.3 mm ) (2.8mm) 56mm/s 400mm/s WAIT传感器 STOP传感器 中心马达 中心止动器 外形基准(X推进) 外形基准(Y推进) 预备 传送（ 距离 4…

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动作说明书
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传送速度和预备送料动作如下表所示。
传送速度
减速距离
(mm)
减速时间
(ms)
预备送料
时间 1(ms)
预备送料
时间 2(ms)
预备送料
速度(mm/s)
预备送料
距离(mm)
减速停止
时间(ms)
高速(400) 20.0 100 100 400 56 43.85 100
高速(300) 19.5 130 100 400 56 43.85 100
中速 20.0 200 15 1650 14 23.7 100
低速 20.0 400 15 1650 14 23.7 100
BU 台的上升开始时限和 X 推进器的动作开始时限根据 BU 台的上升速度切换。
Y 推进器的动作开始时限为所有动作开始 400ms 后(BU 台上升结束 200ms 前)。
BU 台的速度和基板夹紧时间如下表所示。
BU 台速度 传送速度
基板夹紧
时间(ms)
BU 台上升
时间(ms)
BU 台等待
时间(ms)
BU 台上升
开始时限
X 推进器
动作时限
高速(400) 700
高速(300) 730
中速 800
高速
低速 1000
600 100
与预备送料
开始同步
与 BU 台上升
开始同步
高速(400) 1060
高速(300) 1090
中速 1160
中速
低速 1360
960 460
与预备送料
开始同步
从BU台
上升开始起
360ms 后
高速(400) 1950
高速(300) 1980
中速 2050
低速
低速 2250
1080 200
从预备送料
开始起
770ms 后
从BU台
上升开始起
480ms 后
高速(400) 3030
高速(300) 3060
中速 3130
超低速
低速 3330
2160 1280
从预备送料
开始起
770ms 后
从BU台
上升开始起
1560ms 后
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3-2-3 基板传送同步时间图
基板传送时间图例示。
1) 传送速度 高速、BU 台上升速度 高速
IN传感器
100ms
100ms
100ms
400ms
400ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm) (2.8mm)
56mm/s400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.85mm）
XY轴
动作时间 430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间 600ms
后备板马达
动作时间 200ms
2) 传送速度 高速、BU 台上升速度 中速
100ms
100ms
100ms
400ms
400ms
(20mm) (1.5mm + 19.3 mm) (2.8mm)
56mm/s
360ms
400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.85mm）
XY轴
动作时间 430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间 960ms
后备板马达
IN传感器
动作时间 200ms
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3) 传送速度 高速、BU 台上升速度 低速
100ms
100ms
100ms
1650ms
480ms
(0.7mm)
(0.1mm + 22.9mm)
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.7mm）
XY轴
动作时间
430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间
1080ms
后备板马达
IN传感器
动作时间
200ms
4) 传送速度 高速、BU 台上升速度 超低速
100ms
100ms 100ms
1650ms
1560ms
(0.7mm)(0.1mm + 22.9mm)
770ms
400ms
(20mm)
14mm/s
400mm/s
WAIT传感器
STOP传感器
中心马达
中心止动器
外形基准(X推进)
外形基准(Y推进)
预备传送（距离 43.7mm）
XY轴
动作时间
430ms
向生产开始位置移动
IN马达
动作时间
2160ms
后备板马达
IN传感器
动作时间
200ms