CX-1_动作说明书.pdf - 第119页
R e v 2 . 0 0 动作说明书 5- 31 Ｚθドライバ （電流アンプ） モーション コントロール基板 （ＸＭＰ基板 JHRMB基板） 上位ホスト コントローラ （ＣＰＵ基板） ＣＰＣＩバス Zエンコーダ θエンコーダ Zシリアル指令 θシリアル指令 Z速度、位置フィードバ ック θ電流フィードバック Z電流フィードバ ック θ速度、位置フィードバ ック θモータ（ＩＣ） Ｚモータ ノズル Z駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ θ駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ 移…
Rev 2.00
动作说明书
5-
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5-2-2 Ｚ，θ轴的控制方式
Ｚ、θ轴马达控制采用板十字环方式。
Ｚθドライバ
（電流アンプ）
モーション
コントロール基板
（ＸＭＰ基板
JGRMB基板）
上位ホスト
コントローラ
（ＣＰＵ基板）
ＣＰＣＩバス
Zエンコーダ
θエンコーダ
Zシリアル指令
θシリアル指令
Z速度、位置フィードバック
θ電流フィードバック
Z電流フィードバック
θ速度、位置フィードバック
タイミングベルト
タイミングベルト
Zモータ
θモータ
ノズル
Z駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
θ駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
移動データ
θ分解能：０．０２５°
Z分解能：１．２５μｍ
上位主控
(CPU基板 )
移 动 数据
CPCI 母 线
Z速度, 位置供料器
Z分辨率
同 步 皮 带
Z马 达
Z变换器
驱动器
( 电 流放大器)
Z串行指令
Z电 流反馈
Z驱动
同 步 皮 带
电 流反馈
变换器
马 达
吸嘴
分辨率
速度, 位置反馈
串行指令
动 作控制基板
(XMP基板
JGRMB基板)
图５－２－２－１ ＭＮＬＡ贴装头用Ｚθ轴的控制方块图
Rev 2.00
动作说明书
5-
31
Ｚθドライバ
（電流アンプ）
モーション
コントロール基板
（ＸＭＰ基板
JHRMB基板）
上位ホスト
コントローラ
（ＣＰＵ基板）
ＣＰＣＩバス
Zエンコーダ
θエンコーダ
Zシリアル指令
θシリアル指令
Z速度、位置フィードバック
θ電流フィードバック
Z電流フィードバック
θ速度、位置フィードバック
θモータ（ＩＣ）
Ｚモータ
ノズル
Z駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
θ駆動Ｕ，Ｖ，Ｗ
移動データ
θ分解能：０．００５°
Ｚ分解能：１．００μｍ
图５－２－２－２ FM ＬＡ贴装头用Ｚθ轴的控制方块图
上位主控
（CPU 基板）
CPCI 母线
动作控制基板
（XMP 基板
JHRMB 基板）
Z 速度、位置供料器
Z 串行指令
θ 串行指令
θ 速度、位置反馈
θ 电流反馈
Z 马达
Z 変換器
θ 分辨率：0.005°
θ 马达（IC）
吸嘴
Z 分辨率：1.00μm
Z 驱动 U，V，W
Z 电流反馈
Zθ 驱动器
（电流放大器）
θ 変換器
移动数据
θ 驱动 U，V，W
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5-2-3 基板传送部的控制方式
① ＣＥＮＴ马达
传送基板的ＣＥＮＴモータ使用步进马达，进行定速控制。
② ＢＵ马达
杀ｇ嗯下移动后备台的ＢＵ马达，用步进马达和变换器进行控制定位。
③ 基板传送宽度自动调整马达
传送基板时自动进行调整的基板传送宽度自动调整马达，用步进马达和变换器进行控制定位。