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R e v 1 . 0 0 动作说明书 6- 8 5. 贴装时的真空和空气问题 现象 原因 处理 发生 XY、θ偏斜( 基 板全体发生 ) 真空机故障造成真空压力降低。 真空压力降低 的话, 元件吸附力减弱, 则发生吸附错误, 元 件掉落,激光测定异常等,使贴装精度恶化。 VAC 检测器进行检查, 如果贴 装头侧达到真空压力在 - 550mmHg 以下时,检查配管 的空气漏气。 ( 参照 QA 表 : 贴 装头 N O.12) 如果有漏…

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现象 原因 处理
发生XY偏斜(基板全
体发生)(集中特定贴
装头)
Z轴停止发生异常。Z 轴皮带张力变化,Z 轴
球螺丝阻力子嗯大等会造成 Z 轴负荷变化,
影响到吸附后激光高度上升和贴装 Z 下降时 Z
轴,使测定正确性和贴装时的震动面精度恶
化。
确认同步皮带Z的张力。(参照
QA表:贴装头 NO.9)张力值
OK 时,在行程权舆确认阻力
有无不均,如果有问题时,调
整球螺丝和 Z 皮带轮的轴环。
(参照QA表:贴装头 NO.1
1)。
发生XY、θ偏斜(基
板全体发生)(集中特
定吸嘴)
吸嘴滑动装置的XYθ松动。 更换吸嘴。
发生θ偏斜(基板全
体发生)
同步皮带θ的张力不适当。张力过高,增加θ
轴的负担,影响停止,张力过低也影响。
重新调整张力。
(参考QA表:贴装头 NO.8)

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5.贴装时的真空和空气问题
现象 原因 处理
发生XY、θ偏斜(基
板全体发生)
真空机故障造成真空压力降低。真空压力降低
的话,元件吸附力减弱,则发生吸附错误,元
件掉落,激光测定异常等,使贴装精度恶化。
VAC 检测器进行检查,如果贴
装头侧达到真空压力在-
550mmHg 以下时,检查配管
的空气漏气。(参照QA表:贴
装头 N O.12)如果有漏气,
请更换。
发生XY、θ偏斜(基
板的全体发生)
真空电磁阀的故障。贴装时真空破坏四,真空
电磁阀不动作,使动作变迟,发生元件吸附错
误,元件跳起,激光测定异常。
用 VAC 检测器进行检查,如
果贴装头压力传感器的自然
破坏时间超过机器保存值的
1.5 倍则进行更换。
发生XY、θ偏斜(基
板的全体发生)
滤清器堵塞。元件吸附力降低,发生吸附错误,
元件掉落,激光测定异常等,贴装精度恶化。
用 VAC 检测器进行检查,如
果自然破坏时间超过机器保
存值的 2 倍则进行更换。
发生XY、θ偏斜(基
板的全体发生)
滤清器、空气软管堵塞造成真空值降低。 Vac-CAL 的压力传感器到达
真空时间和贴装头侧压力传
感器到达真空时间的差如果
超过机器保存值的 2 倍以上,
请确认空气软管是否堵塞。如
果没有堵塞请更换滤清器。

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6.XY轴的问题
现象 原因 处理
发生XY偏斜(基板全
体发生)
XY停止时发生异常。此时如果进行贴装的话,
贴装将不一致。
确认驱动器的XY增益值是否
输入得正确。
机械控制的参数 XY 和Y的PT
P高速中的各行程的贴装待
机时间的[0]~[11]全部・
入100 msec 进行生产。如果
恢复正常,再确认同步皮带的
张力值。(参照QA表 :XYN
O.1)