CX-1_动作说明书.pdf - 第16页
R e v 2 . 0 0 动作说明书 3- 4 3-1-4 后备板的原点复位 向机台上方凸凹移 动 （ 传 感器 Off 方向 ) 向机台下方向 Step 移 动 （ 传 感器 On 方向 ） on START 原点 传 感器 原点 传 感器 ＯＮ 检测 零相 END off on on off 殊霞 向机台下方向凸凹移 动 （ 传 感器 On 方向 ） 原点 传 感器 ＯＮ off 检测
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动作说明书
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⑤ Y 轴旋转。(对左右捕获位置的误差加上 X 轴垂直度的修正量后扭转)
注 1)Home 传感器从 ON 位置开始时，移动 5000 脉冲，移动到①的位置(Home 传感器 OFF 位置)之后，
进行上述动作。
注 2)Y 轴到③的动作结束，如果左右 2 个 HOME 传感器不能时，为异常。
注 3)以 YLHome 传感器 ON 位置为基准，在 1200 脉冲以内，可以进行 YRHome 传感器 ON 检测。
以 Home 传感器的捕获位置为基准，移动到 CAL 方块标记设计值的坐标，移动 CAL 方块标记识别坐标
的对称部分和机械原点。
CalBlock
譜柴峙恫炎
CAL圭翠炎崗議
紛艶恫炎
字亠圻泣
Home
勧湖匂
Ｙ
Ｘ
移动到 CAL 方块标记设计值坐标后，作为「现在坐标＝CAL 方块标记设计值坐标－CAL 方块标记识别
对称」。
注)在 CX1，XY 轴的 Home 传感器位置让 Ms 参数具有对称值，不用变更 Home 传感器位置，就可以
进行 CAL 方块的识别。
取得 Home 传感器位置的 Ms 参数时，机械 Pos 反映对称值，所以轴驱动器不识别。
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3-1-4 后备板的原点复位
向机台上方凸凹移动
（传感器Off方向)
向机台下方向Step移动
（传感器On方向）
on
START
原点传感器
原点传感器ＯＮ
检测零相
END
off
on
on
off
殊霞
向机台下方向凸凹移动
（传感器On方向）
原点传感器ＯＮ
off
检测
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3-2 基板传送
1． ＩＮ马达（步进马达）
2． ＣＥＮＴＥＲ马达（步进马达）
3． ＯＵＴ马达（步进马达）
4． ＩＮ传感器
5． ＷＡＩＴ传感器
6． ＳＴＯＰ传感器
7． Ｃ・ＯＵＴ传感器
8． ＯＵＴ传感器
9． 止动器
10．Ｘ推进器
11. Ｙ推进器
12. ＢＵ马达（步进马达）
13. ＢＵ原点传感器
Ａ
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３２
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